SMC高真空元件_第(2)页-上海仕臻工业自动化设备有限公司

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平稳通气阀 XVD
平稳通气阀 XVD是 SMC 专为高真空腔体破真空工况研发的常闭型专用阀门，核心解决真空腔体直接通入大气引发气流冲击、微粒扬尘污染工件的行业痛点，广泛配套半导体薄膜沉积、晶圆检测、光学真空镀膜、实验室精密真空设备等高洁净真空管路。

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2026-07-28

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常闭型高真空电磁阀XSA
常闭型高真空电磁阀XSA是 SMC 专为高真空管路设计的直动式常闭型电磁阀，依靠电磁线圈驱动实现真空管路通断，无需外接气动气源，适配小型真空腔体、检漏设备、实验室真空仪器、小型半导体辅助设备等轻量化真空工况，是无气源环境下真空回路控制的核心元件。

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不锈钢制高真空L型/直通型阀 XM/XY
不锈钢制高真空L型/直通型阀 XM/XY为 SMC 全不锈钢材质高真空阀门，XM 是 L 型角式结构，XY 为直通式结构，全系列阀体、流道、密封支撑件均采用 SUS316L 不锈钢打造，针对强腐蚀特种工艺气体、超高真空严苛工况设计，广泛应用于半导体刻蚀、化学气相沉积、特种材料真空烧结、化工腐蚀介质真空管路。

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铝制快速装卸高真空L型阀 XLAQ·XLDQ
铝制快速装卸高真空L型阀 XLAQ·XLDQ是 SMC 专为快速拆装、频繁检修工况打造的铝制高真空 L 型角阀，依托快拆法兰结构简化腔体拆装流程，适配 KF 标准真空接口，广泛用于半导体小型镀膜机、实验室真空分析设备、研发型真空试验台等需要频繁拆解维护的高洁净真空管路。

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铝制高真空L型阀 XL□
铝制高真空L型阀 XL□是 SMC 标准化铝制气动高真空 L 型角阀，完整覆盖多种规格、密封结构与驱动模式，适配 KF16、KF40、KF100、KF160 等主流真空法兰，广泛应用于半导体薄膜沉积、等离子刻蚀、光学真空镀膜、实验室精密分析仪器等高洁净真空管路，负责真空腔体通断与抽气回路管控。

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铝制高真空L型阀 XLA/C-100·160（-1）-X152
铝制高真空L型阀 XLA/C-100·160（-1）-X152是 SMC 专为大口径高真空管路开发的定制款铝制 L 型角阀，分为 XLA 单作用常闭型、XLC 双作用型两大规格，适配 KF100、KF160 大口径真空法兰，核心用于半导体镀膜、大型真空腔体、工业除尘净化等高洁净大流量真空工况施。

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