15800470089
nybanner

产品中心

当前位置：首页  -  产品中心  -  SMC  -  SMC高真空元件

产品分类Product Categories

相关文章Related Articles

  • 铝制高真空L型阀XLA/C-100·160（-1）-X152
    铝制高真空L型阀XLA/C-100·160（-1）-X152

    铝制高真空L型阀XLA/C-100·160（-1）-X152是大口径专用气动角阀，面向泛半导体、真空镀膜等大腔体高真空系统，主要用于真空管路的通断切换，适配大流量抽气工况。阀体采用铝合金一体加工，硬质阳极氧化处理，相比不锈钢阀体重量更轻，便于大口径设备装配，同时支持烘烤除气，减少工艺副产物附着，维持流道内部洁净，降低微粒污染风险。

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-08-04

    浏览次数：

    63

  • 铝制高真空L型阀XLA/C/F/G
    铝制高真空L型阀XLA/C/F/G

    铝制高真空L型阀XLA/C/F/G，是面向真空镀膜、半导体、材料处理等行业开发的气动角阀产品，凭借铝合金主体轻量化优势，适配各类高真空系统的管路通断控制。该系列包含多款子型号，覆盖不同密封、法兰与驱动配置，能够灵活匹配设备的真空腔体、真空泵及工艺管路，满足多样化设备集成需求。

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-08-04

    浏览次数：

    87

  • 铝制高真空L型阀 XL□C 泛半导体行业使用
    铝制高真空L型阀 XL□C 泛半导体行业使用

    铝制高真空L型阀 XL□C 泛半导体行业使用为泛半导体工艺定制的双作用波纹管密封气控真空角阀，广泛适配晶圆处理、真空镀膜、刻蚀、薄膜沉积等各类高真空管路通断控制场景，兼顾洁净性能与设备集成需求。阀体采用铝合金一体成型，表面硬质阳极氧化处理，自重轻、结构紧凑，导热性能优异

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-08-04

    浏览次数：

    72

  • 高真空L型阀 手动杠杆操作型 XLH/XMH-X163
    高真空L型阀 手动杠杆操作型 XLH/XMH-X163

    高真空L型阀 手动杠杆操作型 XLH/XMH-X163为 SMC 定制 X163 系列手动杠杆式波纹管密封高真空 L 型阀，XLH 采用轻量化铝合金阀体，XMH 为全 SUS316L 不锈钢阀体，两款均采用杠杆手动启闭结构，适配常压至 1×10⁻⁶Pa 超高真空工况，多用于实验室真空设备、小型镀膜腔体、研发型半导体负载锁等中小容积真空管路。

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-07-28

    浏览次数：

    66

  • 高真空阀 XLH/XMH/XYH-X873
    高真空阀 XLH/XMH/XYH-X873

    高真空阀 XLH/XMH/XYH-X873是 SMC 定制 X873 规格手动波纹管密封高真空阀，分为铝制 L 型 XLH、不锈钢 L 型 XMH、不锈钢直通型 XYH 三款结构，适配大气压至 1×10⁻⁶Pa 高真空区间，专为半导体镀膜、实验室真空分析、小型负载锁腔体设计。

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-07-28

    浏览次数：

    84

  • 缝阀 XGT
    缝阀 XGT

    缝阀 XGT是 SMC 面向半导体晶圆制程研发的腔体隔断专用阀门，广泛用于 200mm、300mm 晶圆设备的负载锁、传输腔、工艺腔体之间，实现真空腔室隔离、真空保压，适配大气压至超高真空区间工况，是真空传输系统的核心部件。

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-07-28

    浏览次数：

    101

共 23 条记录，当前 2 / 4 页  首页  上一页  下一页  末页  跳转到第页 
在线服务热线

扫码加微信

Copyright © 2026 上海仕臻工业自动化设备有限公司 版权所有    备案号：沪ICP备19043601号-7    sitemap.xml