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    对应300mm晶片 平行密封型缝阀XGTP

    对应300mm晶片 平行密封型缝阀XGTP是 SMC 专为 300mm 大尺寸晶圆半导体设备开发的平行密封高真空缝阀，作为负载锁腔、传输腔、工艺腔之间的隔离隔断阀门，适配大气压至 1×10⁻⁶Pa 超高真空环境，匹配 12 英寸晶圆全自动真空传输制程。

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-08-04

    浏览次数：

    71

  • 带有大气释放阀的真空阀XLJ
    带有大气释放阀的真空阀XLJ

    带有大气释放阀的真空阀XLJ是 SMC 集成大气释放功能的一体式高真空 L 型阀，将主真空切断阀与微流量破真空阀整合为单一阀体，省去现场额外加装通气阀的繁琐配管，专为半导体真空腔体、光学镀膜设备、晶圆检测机、实验室真空试验装置打造，解决真空腔体泄压时气流冲击扬尘、工件污染的难题。

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-08-04

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    109

  • 平稳通气阀XVD
    平稳通气阀XVD

    平稳通气阀XVD，是高真空系统专用的泄压复压阀门，广泛用于泛半导体、真空镀膜、分析仪器等设备，主要完成腔体平缓复压，避免大气快速冲入造成腔体内部件震动、粉尘飞扬，保护晶圆、工件与腔室内部组件。在真空腔体完成工艺之后，该阀可以控制气体低速流入腔体，实现平稳回气，替代普通电磁阀直接大通径充气带来的冲击问题。

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-08-04

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    80

  • 不锈钢制高真空L型/直通型阀XM/XY
    不锈钢制高真空L型/直通型阀XM/XY

    不锈钢制高真空L型/直通型阀XM/XY，面向泛半导体、真空镀膜及特种工艺设备，分别实现 L 型角向与直通式管路通断控制，阀体全部采用不锈钢材质打造，适配对耐腐蚀性、低放气、耐高温有严苛要求的高真空系统。XM 为 L 型角阀，XY 为直通阀，两种结构形态，满足不同管路走向布局需求。

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-08-04

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    74

  • 铝制快速装卸高真空L型阀XLAQ·XLDQ
    铝制快速装卸高真空L型阀XLAQ·XLDQ

    铝制快速装卸高真空L型阀XLAQ·XLDQ，是专为需要频繁拆装维护的高真空工况开发的波纹管密封角阀，多用于泛半导体、真空镀膜、科研试验等设备，实现真空管路通断管控，重点优化阀门拆装检修效率，降低停机维护时长。阀体采用铝合金一体成型，硬质阳极氧化处理，自重轻巧，放气率低，可耐受烘烤作业，减少工艺副产物在内壁堆积，维持流道洁净，降低微粒污染风险，适配设备内部紧凑的安装空间。

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-08-04

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  • 铝制高真空L型阀XL□
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    铝制高真空L型阀XL□，属于气动波纹管密封角阀，广泛应用于泛半导体、真空镀膜、科研实验等各类中高真空系统，实现真空管路与腔体之间介质通断控制。系列拥有丰富子型号，可在法兰形式、口径、驱动方式、选配功能上灵活组合，适配不同设备的集成需求。

    产品型号：

    厂商性质：

    代理商

    更新时间：

    2026-08-04

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