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高真空L型阀手动杠杆操作型 XLH/XMH-X163
高真空L型阀手动杠杆操作型 XLH/XMH-X163为 SMC 定制 X163 系列手动杠杆式波纹管密封高真空 L 型阀，XLH 采用轻量化铝合金阀体，XMH 为全 SUS316L 不锈钢阀体，两款均采用杠杆手动启闭结构，适配常压至 1×10⁻⁶Pa 超高真空工况，多用于实验室真空设备、小型镀膜腔体、研发型半导体负载锁等中小容积真空管路。

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2026-07-28

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高真空阀 XLH/XMH/XYH-X873
高真空阀 XLH/XMH/XYH-X873是 SMC 定制 X873 规格手动波纹管密封高真空阀，分为铝制 L 型 XLH、不锈钢 L 型 XMH、不锈钢直通型 XYH 三款结构，适配大气压至 1×10⁻⁶Pa 高真空区间，专为半导体镀膜、实验室真空分析、小型负载锁腔体设计。

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缝阀 XGT
缝阀 XGT是 SMC 面向半导体晶圆制程研发的腔体隔断专用阀门，广泛用于 200mm、300mm 晶圆设备的负载锁、传输腔、工艺腔体之间，实现真空腔室隔离、真空保压，适配大气压至超高真空区间工况，是真空传输系统的核心部件。

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对应300mm晶片平行密封型缝阀 XGTP
对应300mm晶片平行密封型缝阀 XGTP是 SMC 专为 300mm 大尺寸晶圆半导体设备开发的平行密封高真空缝阀，作为负载锁腔、传输腔、工艺腔之间的隔离隔断阀门，适配大气压至 1×10⁻⁶Pa 超高真空环境，匹配 12 英寸晶圆全自动真空传输制程。

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带有大气释放阀的真空阀 XLJ
带有大气释放阀的真空阀 XLJ是 SMC 集成大气释放功能的一体式高真空 L 型阀，将主真空切断阀与微流量破真空阀整合为单一阀体，省去现场额外加装通气阀的繁琐配管，专为半导体真空腔体、光学镀膜设备、晶圆检测机、实验室真空试验装置打造，解决真空腔体泄压时气流冲击扬尘、工件污染的难题。

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磁性开关D
磁性开关D是 SMC 配套气缸使用的位置检测元件，依靠气缸内置磁环产生磁场触发信号，实现活塞到位信号反馈，广泛应用于自动化流水线、半导体设备、气动机械手、包装机械等各类气动控制场景，是气动系统实现自动化联锁的基础传感配件。

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