高真空L型阀手动杠杆操作型 XLH/XMH-X163为 SMC 定制 X163 系列手动杠杆式波纹管密封高真空 L 型阀，XLH 采用轻量化铝合金阀体，XMH 为全 SUS316L 不锈钢阀体，两款均采用杠杆手动启闭结构，适配常压至 1×10⁻⁶Pa 超高真空工况，多用于实验室真空设备、小型镀膜腔体、研发型半导体负载锁等中小容积真空管路。

Name: 高真空L型阀 手动杠杆操作型 XLH/XMH-X163
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-28

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高真空L型阀手动杠杆操作型 XLH/XMH-X163

可以通过操作手动杆来打开和关闭阀门

高真空L型阀手动杠杆操作型 XLH/XMH-X163为 SMC 定制 X163 系列手动杠杆式波纹管密封高真空 L 型阀，XLH 采用轻量化铝合金阀体，XMH 为全 SUS316L 不锈钢阀体，两款均采用杠杆手动启闭结构，适配常压至 1×10⁻⁶Pa 超高真空工况，多用于实验室真空设备、小型镀膜腔体、研发型半导体负载锁等中小容积真空管路。

阀体材质区分适配不同工况。XLH 铝合金阀体经硬质阳极氧化处理，内腔低放气、微粒析出少，自重轻便，便于狭小设备机架安装，适配氮气、洁净空气等中性工艺气体；XMH 不锈钢阀体耐卤素、酸碱腐蚀，腔体强度更高，可耐受烘烤升温，适配氟化、氯化等轻度腐蚀特种气体。

阀门核心采用 SUS316L 不锈钢一体波纹管密封结构，波纹管隔离外部杠杆操作机构与真空流道，无轴向外漏通道，氦气检漏泄漏率达到真空标准。启闭过程内部无机械摩擦，不会产生粉尘杂质，避免污染真空腔内部工件，满足高洁净使用需求。

区别于普通旋转手轮款式，本系列配备省力杠杆操作机构，操作力矩更小，单手即可轻松完成阀门全开、全关动作，杠杆自带档位限位结构，到位后可稳定锁止，防止设备震动导致阀门轻微泄漏。阀体外侧设置可视化状态标识，可直观分辨阀门通断状态，无需额外检测元件。

标配 KF 标准真空法兰，管路拆装便捷，密封件采用耐化学 FKM 氟橡胶，腐蚀工况可更换全氟橡胶配件。阀体支持高温烘烤，可清除腔体内残留气体，缩短抽真空时间。波纹管、密封垫圈等易损部件可单独更换，无需整体拆卸阀体，减少设备停机维护时间，整机符合 RoHS 环保规范。

XLH/XMH-X163 手动杠杆高真空 L 型阀，依托省力杠杆结构、双材质阀体选型、波纹管无泄漏洁净密封设计，为中小型真空设备提供操作简便、洁净耐用的管路通断解决方案。

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