缝阀 XGT是 SMC 面向半导体晶圆制程研发的腔体隔断专用阀门，广泛用于 200mm、300mm 晶圆设备的负载锁、传输腔、工艺腔体之间，实现真空腔室隔离、真空保压，适配大气压至超高真空区间工况，是真空传输系统的核心部件。

Name: 缝阀 XGT
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

产品型号：

更新时间：2026-07-28

厂商性质：代理商

访问量：6

产品咨询 15800470089

产品分类Product Categories

SMC

SMC工业用过滤器/烧结金属滤芯 SMC高真空元件 SMC工艺气体用元件 SMC温控器 SMC隔膜泵 SMC化学液用阀/管接头&针阀/管子 SMC流体控制元件 SMC手持式泄漏检测仪 SMC静电对策元件/静电消除器 SMC开关/传感器/控制器 SMC协作机器人用气爪 SMC真空元件 SMC压力控制器 SMC摆动气缸/气爪 SMC方向控制阀 SMC压缩空气管理系统 SMC阀岛 SMC气管 SMC接头 SMC液压缸 SMC电气比例阀 SMC增压阀 SMC真空调压阀 SMC电动执行器 SMC减压阀 SMC过滤减压阀 SMC过滤器 SMC电磁阀 SMC气缸
查看全部产品

相关文章Related Articles

详细介绍在线留言

缝阀 XGT

●对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合

缝阀 XGT是 SMC 面向半导体晶圆制程研发的腔体隔断专用阀门，广泛用于 200mm、300mm 晶圆设备的负载锁、传输腔、工艺腔体之间，实现真空腔室隔离、真空保压，适配大气压至超高真空区间工况，是真空传输系统的核心部件。

阀体主体采用轻量化铝合金一体加工成型，表面硬质阳极氧化处理，内腔低放气、低微粒析出，满足半导体高洁净生产标准。阀门采用平行压紧密封结构，启闭过程无倾斜摩擦，大幅减少机械运动产生的粉尘，避免晶圆被颗粒物污染。阀门内置不锈钢波纹管隔离驱动气缸与真空流道，无轴向外泄漏通道，内外泄漏指标达到真空工艺要求。

密封组件拥有多种材质可选，标准配置 FKM 氟橡胶，针对蚀刻、薄膜沉积等含腐蚀气体工况，可更换全氟橡胶密封件，耐化学腐蚀能力更强，延长阀门在特种工艺环境下的使用寿命。阀门气动驱动适配 0.4~0.7MPa 标准气源，分为单作用、双作用两种驱动规格，断气锁止结构可在气源中断时保持阀门原有状态，防止真空腔体突然进气造成工件报废。

整机结构紧凑，支持盒式、嵌入式两种安装方式，设备改造兼容性，拆装便捷。可搭配无触点位置传感器，实时反馈阀门全开、全关信号，信号可直接接入产线 PLC，实现真空设备全自动联锁控制。

波纹管、密封胶圈等易损配件能够单独拆卸更换，无需整体拆卸阀体，缩短设备停机维护时长，降低运维成本。整机符合 RoHS 环保规范，循环启闭寿命优异，可长时间不间断运行于无尘半导体产线。XGT 缝阀依托高洁净密封结构、稳定真空隔断性能与自动化配套功能，为晶圆真空传输腔体隔离提供可靠完整解决方案。

上一个：对应300mm晶片平行密封型缝阀 XGTP