铝制高真空L型阀XLA/C-100·160（-1）-X152
●波纹管耐久性增强(法兰尺寸100、160)
●使用寿命: 200万次
●可节省安装空间
不限定排气方向（阀体侧←→波纹管侧 可双向）
安装方式自由度提升
●轻量·紧凑
铝制高真空L型阀XLA/C-100·160（-1）-X152是大口径专用气动角阀，面向泛半导体、真空镀膜等大腔体高真空系统，主要用于真空管路的通断切换，适配大流量抽气工况。阀体采用铝合金一体加工，硬质阳极氧化处理，相比不锈钢阀体重量更轻，便于大口径设备装配，同时支持烘烤除气，减少工艺副产物附着，维持流道内部洁净，降低微粒污染风险。
产品采用不锈钢波纹管全隔离密封结构，把气动驱动机构与真空流道分隔，消除轴部摩擦带来的发尘隐患，实现极低的泄漏率，保障腔体高真空状态稳定。波纹管组件可单独拆装更换，无需整体更换阀体，有效降低后期维护与备件成本，适合设备长时间连续生产运行。阀门为双作用气动驱动，开关动作平稳有力，大口径下依旧保持可靠的启闭循环性能，可接入工厂标准气源实现自动化控制。
X152 代表定制化改良规格，针对 100、160 两种大口径进行结构优化，强化阀体刚性，改善大尺寸阀板闭合受力，提升密封稳定性，减少频繁启闭后的密封衰减。（‑1）代表配置变更选项，可适配不同安装姿态与管路布局，支持多方位安装，给整机管路设计带来更高自由度。可加装磁性位置开关，实时反馈阀门开、闭状态信号，便于接入设备主控系统，实现工艺联锁与状态监控。
法兰匹配大口径真空接口，方便与真空腔体、分子泵机组对接，流导表现优异，能够大幅缩短大型腔体抽真空时间。密封件可根据工艺气体特性选型，可应对部分腐蚀性、易凝结工艺介质。该定制大口径铝制高真空 L 型阀，为大腔体真空设备提供稳定可靠的管路通断解决方案，保障产线工艺过程持续高效运转。
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