铝制高真空L型阀 XL□C 泛半导体行业使用
●中国制造
●长寿命
●可在高真空领域使用
●轻量化，小型化
●可选择带加热器
●高温150℃通用 (带磁性开关除外)
●磁性开关安装方向自由
铝制高真空L型阀 XL□C 泛半导体行业使用为泛半导体工艺定制的双作用波纹管密封气控真空角阀，广泛适配晶圆处理、真空镀膜、刻蚀、薄膜沉积等各类高真空管路通断控制场景，兼顾洁净性能与设备集成需求。阀体采用铝合金一体成型，表面硬质阳极氧化处理，自重轻、结构紧凑，导热性能优异，可实现整体均匀烘烤，抑制工艺气体冷凝附着，降低管路内部污染物堆积，适配半导体设备狭小的安装空间。
产品采用 SUS316L 不锈钢波纹管全隔离密封结构，将驱动气缸与真空流道分隔，消除轴封摩擦产尘与外部泄漏风险，泄漏率表现优异，很大程度减少微粒产生，避免重金属析出对晶圆造成污染，契合泛半导体对高洁净真空环境的严苛标准。波纹管支持单独更换，无需整体更换阀体，有效降低后期维护成本，延长阀门整体使用寿命。
采用双作用气动驱动模式，依靠先导气压完成阀门开启与关闭动作，不受弹簧力影响，开关响应稳定可靠，可适配连续循环的自动化生产工况，支持多方位安装，管路布局自由度高。可加装磁性开关，反馈阀门开闭状态，便于接入设备控制系统，实现自动化联锁控制。还可选配加热组件，提升抗腐蚀性工艺气体能力，进一步拓展复杂工艺工况适配能力。
阀门具备大流导特性，小体积即可实现高效抽气，缩短腔体抽真空时长，提升整机工作效率。密封件可根据工艺介质灵活选型，应对含氟等腐蚀性工艺环境。法兰覆盖多种常用 KF 规格，方便与真空腔体、泵组对接。作为泛半导体真空系统关键通断部件，为设备提供稳定可靠的管路控制解决方案，保障产线持续稳定运转。
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