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SMC XLF‑25‑2M9 高真空波纹管角阀采用轻量化铝合金本体,表面硬质阳极氧化处理,放气率低,可烘烤除气,满足洁净工艺需求。阀杆采用不锈钢波纹管全密封结构,隔绝大气侧杂质进入真空腔体,消除轴杆位置微泄漏,无润滑油脂,不会污染真空腔内部件,波纹管组件可单独更换,降低后期运维成本。
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2026-10-14
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SMC XLA‑80‑2‑XF1A 高真空波纹管角阀采用铝合金材质,外部硬质阳极氧化处理,具备均匀烘烤除气能力,放气率低,重金属析出少,适配洁净工艺环境。轴杆部位采用可更换式 316L 不锈钢波纹管密封,隔绝大气侧杂质向真空腔体内泄漏,避免油脂、粉尘污染真空腔体,波纹管组件可单独更换,降低后期维护成本。
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2026-10-14
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SMC XLC‑40‑2M9 高真空 L 型角阀采用轻量化铝合金本体,外部硬质阳极氧化处理,低放气特性,重金属析出少,可均匀烘烤除气。轴部采用不锈钢波纹管密封,隔绝大气侧污染物进入真空腔体,杜绝轴杆处的微泄漏,波纹管组件支持单独更换,降低后期维护成本。
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2026-10-14
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SMC XLA‑25‑2 铝制高真空 L 型角阀属于 SMC XLA‑2 系列气动高真空角阀,KF25 法兰规格,单作用常闭结构,波纹管密封形式,依靠外部先导气源实现阀门启闭,无内置电磁阀,适配高真空管路通断控制,广泛应用于真空腔体、半导体、科研实验等洁净真空工况。
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2026-10-13
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