SMC高真空元件_第(3)页-上海仕臻工业自动化设备有限公司

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对应300mm晶片平行密封型缝阀 XGTP
对应300mm晶片平行密封型缝阀 XGTP是 SMC 专为 300mm 大尺寸晶圆半导体设备开发的平行密封高真空缝阀，作为负载锁腔、传输腔、工艺腔之间的隔离隔断阀门，适配大气压至 1×10⁻⁶Pa 超高真空环境，匹配 12 英寸晶圆全自动真空传输制程。

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2026-07-28

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带有大气释放阀的真空阀 XLJ
带有大气释放阀的真空阀 XLJ是 SMC 集成大气释放功能的一体式高真空 L 型阀，将主真空切断阀与微流量破真空阀整合为单一阀体，省去现场额外加装通气阀的繁琐配管，专为半导体真空腔体、光学镀膜设备、晶圆检测机、实验室真空试验装置打造，解决真空腔体泄压时气流冲击扬尘、工件污染的难题。

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2026-07-28

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磁性开关D
磁性开关D是 SMC 配套气缸使用的位置检测元件，依靠气缸内置磁环产生磁场触发信号，实现活塞到位信号反馈，广泛应用于自动化流水线、半导体设备、气动机械手、包装机械等各类气动控制场景，是气动系统实现自动化联锁的基础传感配件。

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2026-07-28

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平稳通气阀 XVD
平稳通气阀 XVD是 SMC 专为高真空腔体破真空工况研发的常闭型专用阀门，核心解决真空腔体直接通入大气引发气流冲击、微粒扬尘污染工件的行业痛点，广泛配套半导体薄膜沉积、晶圆检测、光学真空镀膜、实验室精密真空设备等高洁净真空管路。

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常闭型高真空电磁阀XSA
常闭型高真空电磁阀XSA是 SMC 专为高真空管路设计的直动式常闭型电磁阀，依靠电磁线圈驱动实现真空管路通断，无需外接气动气源，适配小型真空腔体、检漏设备、实验室真空仪器、小型半导体辅助设备等轻量化真空工况，是无气源环境下真空回路控制的核心元件。

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不锈钢制高真空L型/直通型阀 XM/XY
不锈钢制高真空L型/直通型阀 XM/XY为 SMC 全不锈钢材质高真空阀门，XM 是 L 型角式结构，XY 为直通式结构，全系列阀体、流道、密封支撑件均采用 SUS316L 不锈钢打造，针对强腐蚀特种工艺气体、超高真空严苛工况设计，广泛应用于半导体刻蚀、化学气相沉积、特种材料真空烧结、化工腐蚀介质真空管路。

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2026-07-28

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