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高真空阀 XLH/XMH/XYH-X873是 SMC 定制 X873 规格手动波纹管密封高真空阀，分为铝制 L 型 XLH、不锈钢 L 型 XMH、不锈钢直通型 XYH 三款结构，适配大气压至 1×10⁻⁶Pa 高真空区间，专为半导体镀膜、实验室真空分析、小型负载锁腔体设计。
三款阀体结构区分清晰。XLH 为轻量化铝合金 L 型角阀，阀体经硬质阳极氧化处理，低放气、低重金属溅射污染，适配氟系腐蚀工艺气体；XMH 采用 SCS13 不锈钢 L 型结构，耐酸碱、卤素腐蚀性能更强；XYH 为不锈钢直通式阀体，流导更大、抽气阻力更低，适合真空主抽管路布置。X873 定制款强化加热适配能力，支持最高 150℃恒温烘烤，可抑制工艺气体冷凝附着阀体内壁。
产品统一采用 SUS316L 一体波纹管全密封结构，隔绝手动驱动机构与真空流道，无轴向外泄漏，氦检外部泄漏率低至 1.3×10⁻¹¹Pa・m³/s，启闭无机械摩擦产尘，满足高洁净制程标准。手动操作扭矩≤0.5N・m，旋转把手即可完成通断，阀体标配开闭状态可视指示窗，无需拆解即可确认阀门状态；内部弹簧提供恒定密封压力，长期使用密封性能稳定。
密封件标配耐化学 FKM 氟橡胶，腐蚀工况可更换全氟特种密封；阀体采用一体式精铸成型，无气体滞留死角，缩短腔体抽真空时长。标准搭载 KF 通用真空法兰，管路装配便捷；波纹管、密封圈等易损配件可单独拆装更换，无需整体更换阀体，降低长期运维成本。整机符合 RoHS 环保规范，压力平衡结构不受排气方向限制，安装姿态无约束，为小型高真空设备管路通断提供洁净、耐腐蚀、易维护的定制化完整解决方案。
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