铝制高真空L型阀XLA/C/F/G
●采用铝制主体
均一的焙温度
轻量·紧凑
气体溢出少
重金属污染少
●可更换波纹管
铝制高真空L型阀XLA/C/F/G，是面向真空镀膜、半导体、材料处理等行业开发的气动角阀产品，凭借铝合金主体轻量化优势，适配各类高真空系统的管路通断控制。该系列包含多款子型号，覆盖不同密封、法兰与驱动配置，能够灵活匹配设备的真空腔体、真空泵及工艺管路，满足多样化设备集成需求。
阀体采用铝合金材质一体加工成型，经过硬质阳极氧化表面处理，重量相较不锈钢阀体大幅降低，整机结构紧凑，便于设备狭小空间内布置。阀体可耐受烘烤作业，减少工艺副产物附着堆积，维持流道内部洁净，降低微粒污染风险，适配对洁净度有要求的生产场景。
内部配置不锈钢波纹管隔离结构，将气动驱动部分与真空腔体隔绝，规避轴封摩擦带来的发尘问题，实现极低的漏率表现，保障高真空环境稳定。波纹管组件支持单独更换，无需替换整阀，减少备件投入，延长阀门使用周期。驱动形式以气动双作用为主，开关动作平稳，循环寿命优异，适合长时间连续自动化作业。
XLA、XLC、XLF、XLG 各子型号在法兰规格、流导大小、可选附件上形成差异化。可搭载位置反馈磁性开关，向主机输出阀门开闭信号，实现系统联锁控制。部分型号支持选配加热功能，抵御易凝结工艺介质附着，密封件可依据介质特性更换，应对轻微腐蚀性气体工况。法兰兼容 KF 等主流真空标准，现场拆装便捷。
该系列拥有不错的大流导性能，加快腔体抽真空速度，提升整套真空设备运行效率。支持多方向安装，管路布局灵活，降低整机设计难度。铝制高真空 L 型阀 XLA/C/F/G 系列，为中高真空工况提供高性价比通断解决方案，助力真空设备长期稳定运行。
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