不锈钢制高真空L型/直通型阀 XM/XY为 SMC 全不锈钢材质高真空阀门，XM 是 L 型角式结构，XY 为直通式结构，全系列阀体、流道、密封支撑件均采用 SUS316L 不锈钢打造，针对强腐蚀特种工艺气体、超高真空严苛工况设计，广泛应用于半导体刻蚀、化学气相沉积、特种材料真空烧结、化工腐蚀介质真空管路。

Name: 不锈钢制高真空L型/直通型阀 XM/XY
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-28

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不锈钢制高真空L型/直通型阀 XM/XY

●精密铸件一体构造, 无气体聚积
●可与铝制高真空L型阀XL系列(XM系列)互换安装

注)直接配管型无16尺寸

不锈钢制高真空L型/直通型阀 XM/XY为 SMC 全不锈钢材质高真空阀门，XM 是 L 型角式结构，XY 为直通式结构，全系列阀体、流道、密封支撑件均采用 SUS316L 不锈钢打造，针对强腐蚀特种工艺气体、超高真空严苛工况设计，广泛应用于半导体刻蚀、化学气相沉积、特种材料真空烧结、化工腐蚀介质真空管路。

阀体整体经电解抛光处理，内腔光滑无积尘死角，放气率极低，不易吸附氟化、氯化等腐蚀性气体残留物，耐酸碱、耐卤素腐蚀性能远超铝制真空阀，适配长期接触强腐蚀工艺介质的产线环境。不锈钢材质结构强度高，耐高温变形，可选配加热模块稳定阀体温场，杜绝腐蚀性气体冷凝堆积造成管路堵塞与腔体污染。

XM L 型角阀采用 90° 转向流道，适配腔体侧面抽气、分支管路分流场景，节省设备纵向安装空间；XY 直通阀为直线贯通流道，流导更大、抽气阻力更小，适用于主真空抽气主管、大流量连续抽气工况。两款均提供波纹管密封与 O 型圈密封两种方案，波纹管款以一体不锈钢波纹管隔绝气缸与真空流道，无轴向外泄漏，无机械摩擦产尘，满足超高纯晶圆制程；O 型圈款结构精简，性价比高，适配通用中高真空实验设备。

阀门采用 0.4~0.7MPa 标准气源气动驱动，分单作用常闭、双作用两种驱动模式，断气保护设计可避免真空腔体失压风险。可集成一体式先导电磁阀简化配管，搭配无触点磁性开关，实时传输阀门全开、全关信号，对接 PLC 实现自动化联锁控制。密封件标配耐化学 FKM 氟橡胶，可更换特种耐腐蚀密封配件，适配各类强腐蚀工艺气体。

波纹管、密封圈等易损件可单独拆装更换，无需整体更换阀体，长期运维成本更低，整机符合 RoHS 环保规范，可全天候稳定运行于洁净真空产线。

XM/XY 不锈钢高真空阀门依托全不锈钢耐腐蚀腔体、L 型 / 直通双结构选型、双重密封方案与自动化配套功能，为腐蚀介质、超高真空工艺提供可靠管路通断解决方案，兼顾耐腐蚀性、通流效率与设备长期运行稳定性。

上一个：铝制快速装卸高真空L型阀 XLAQ·XLDQ