带有大气释放阀的真空阀 XLJ是 SMC 集成大气释放功能的一体式高真空 L 型阀，将主真空切断阀与微流量破真空阀整合为单一阀体，省去现场额外加装通气阀的繁琐配管，专为半导体真空腔体、光学镀膜设备、晶圆检测机、实验室真空试验装置打造，解决真空腔体泄压时气流冲击扬尘、工件污染的难题。

Name: 带有大气释放阀的真空阀 XLJ
Brand: SMC/日本
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更新时间：2026-07-28

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带有大气释放阀的真空阀 XLJ

●防止粗抽泵（回转泵）的油逆向流入腔室
●大气开放阀一体结构减少作业工时

带有大气释放阀的真空阀 XLJ是 SMC 集成大气释放功能的一体式高真空 L 型阀，将主真空切断阀与微流量破真空阀整合为单一阀体，省去现场额外加装通气阀的繁琐配管，专为半导体真空腔体、光学镀膜设备、晶圆检测机、实验室真空试验装置打造，解决真空腔体泄压时气流冲击扬尘、工件污染的难题。

阀体主体采用轻量化铝合金材质，表面硬质阳极氧化处理，内腔低放气、低微粒析出，满足高洁净真空工艺要求。内部密封结构选用 SUS316L 不锈钢波纹管，隔离气缸驱动机构与真空流道，无轴向外泄漏，运行无机械摩擦产尘，极限泄漏率符合超高真空使用标准；密封件标配耐化学 FKM 氟橡胶，适配干燥氮气、洁净空气等介质。

该产品核心优势为集成式大气释放结构，内置独立可调针阀，可精准控制破真空气体流量。腔体泄压时，先开启小型通气支路，微量气体缓慢流入腔体，实现压力平缓回升，待腔体与外界压力趋于平衡后，再开启主阀，杜绝瞬时大气涌入形成紊流，避免腔体内部粉尘、工艺残留物飞溅污染晶圆、光学镜片等精密产品。

阀门为气动常闭结构，断气状态下主阀与通气支路同步关闭，防止真空腔体意外进气。驱动气源适配 0.4~0.7MPa 标准压缩空气，可选配无触点磁性开关，实时反馈阀门开闭状态，信号可直接接入产线 PLC，实现自动化联锁控制。整机体积紧凑，一体式结构大幅节省设备机架安装空间，支持 KF 标准真空法兰装配。

波纹管、通气针阀密封垫圈等易损配件可单独拆卸更换，无需整体更换阀体，有效降低长期运维成本，整机符合 RoHS 环保规范。XLJ 集成大气释放真空阀以一体化多功能结构、平稳可控泄压能力、高洁净密封设计，为高真空腔体抽气、保压、平稳破真空全流程提供一体化管路通断解决方案，兼顾设备装配便捷性与精密制程洁净生产需求。

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