对应300mm晶片平行密封型缝阀 XGTP是 SMC 专为 300mm 大尺寸晶圆半导体设备开发的平行密封高真空缝阀，作为负载锁腔、传输腔、工艺腔之间的隔离隔断阀门，适配大气压至 1×10⁻⁶Pa 超高真空环境，匹配 12 英寸晶圆全自动真空传输制程。

Name: 对应300mm晶片 平行密封型缝阀 XGTP
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-28

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对应300mm晶片平行密封型缝阀 XGTP

●寿命长：300万次（常温时）
●发尘量：减少到1/5以下（与从前的产品相比）
●维护性提高
易于更换波纹管
可从顶端更换门组件（订制规格）
●安全对策
采用机械式带端锁机构

对应300mm晶片平行密封型缝阀 XGTP是 SMC 专为 300mm 大尺寸晶圆半导体设备开发的平行密封高真空缝阀，作为负载锁腔、传输腔、工艺腔之间的隔离隔断阀门，适配大气压至 1×10⁻⁶Pa 超高真空环境，匹配 12 英寸晶圆全自动真空传输制程。

产品核心采用平行夹紧密封结构，阀板垂直升降后平行贴合密封面，相较传统斜推式阀门，机械摩擦大幅减少，微粒产生量相较旧款降低五分之四以上，从源头避免粉尘污染晶圆，洁净等级满足刻蚀、薄膜沉积严苛工艺标准。整机标准盒式重量仅 14kg，轻量化铝合金阀体结构，同时兼容盒式、嵌入式两种安装形态，可直接与前代 XGT 系列阀体互换，设备改造适配成本更低。

设备耐用性与节能表现突出，常温工况循环寿命可达 300 万次，大幅降低产线停机维修频次；动作耗气量相比旧款减少 22%，无背压工况下可低压驱动，长期运行有效压缩气动能耗成本。密封件提供 FKM 氟橡胶、Kalrez®4079 全氟橡胶两种选择，可适配惰性气体与轻度腐蚀工艺介质，适配多样化半导体制程需求。

安全与维护设计，标配机械式端锁机构，设备急停、断气时可牢牢锁死阀门全开 / 全关状态，防止腔体真空泄漏、晶圆掉落报废；波纹管组件支持独立更换，定制款可从阀体顶部拆装阀板，无需整体拆卸阀体，运维操作简便高效。整机符合 RoHS 环保规范，可选配位置反馈传感器，实时传输阀门开闭信号对接产线 PLC 自动化控制系统，为 300mm 晶圆真空制程提供高洁净、长寿命、易维护的腔室隔离完整解决方案。

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