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常闭型高真空电磁阀XSA
产品简介

常闭型高真空电磁阀XSA是 SMC 专为高真空管路设计的直动式常闭型电磁阀,依靠电磁线圈驱动实现真空管路通断,无需外接气动气源,适配小型真空腔体、检漏设备、实验室真空仪器、小型半导体辅助设备等轻量化真空工况,是无气源环境下真空回路控制的核心元件。

产品型号:
更新时间:2026-07-28
厂商性质:代理商
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常闭型高真空电磁阀XSA
●追加内螺纹型(Rc, NPT) [New]
●低使用压力:1×10-6Pa(abs)
●泄漏量:内部1.3×10-9Pa·m3/s,外部1.3×10-11Pa·m3/s
●备有2种接头
●消耗功率:最大削减25%
●重量:最大减轻18% 0.5kg→0.41kg


常闭型高真空电磁阀XSA是 SMC 专为高真空管路设计的直动式常闭型电磁阀,依靠电磁线圈驱动实现真空管路通断,无需外接气动气源,适配小型真空腔体、检漏设备、实验室真空仪器、小型半导体辅助设备等轻量化真空工况,是无气源环境下真空回路控制的核心元件。

设备为标准常闭结构,线圈不通电时,内置弹簧推动阀芯压紧密封面,阀门保持关闭,有效隔绝真空腔体与外界大气,防止真空度快速衰减,具备断电自锁保护能力,可避免设备停机、断电引发腔体进气污染工件。通电后电磁吸力克服弹簧弹力抬起阀芯,管路导通,实现快速抽真空操作。

阀体整体采用 SUS316L 不锈钢材质,介质流通内腔经过精密电解抛光处理,内壁光滑无凹凸死角,放气率低,不易吸附气体残留杂质,适配高纯惰性气体、轻度腐蚀性工艺气体。密封组件采用耐化学 FKM 氟橡胶,密封贴合度高,内外泄漏指标满足高真空使用标准,极限工作真空可达 1×10⁻⁶Pa。

产品采用小型直动式紧凑机身,体积小巧,安装灵活,支持管路直装、面板嵌入式两种装配方式,不占用设备过多安装空间。电气规格覆盖交直流通用电压,线圈功耗低,长时间通电运行不易发热老化,使用寿命持久。设备接线结构简单,防护等级可靠,适配洁净车间、实验室常规环境。

XSA 电磁阀可搭配位置反馈配件,实时输出阀门开闭状态信号,可对接小型 PLC、检测控制器,实现真空设备自动化联锁管控。阀芯、密封垫圈等易损配件拆装便捷,无需专用工具即可完成更换,降低长期设备维护成本,整机符合 RoHS 环保规范。

XSA 常闭型高真空电磁阀以纯电磁驱动无需气源、断电常闭安全防护、不锈钢低放气腔体、小型化安装优势,为轻量化真空设备提供简洁可靠的管路通断解决方案,满足实验室、小型精密制程的真空控制需求。

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