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平稳通气阀 XVD是 SMC 专为高真空腔体破真空工况研发的常闭型专用阀门，核心解决真空腔体直接通入大气引发气流冲击、微粒扬尘污染工件的行业痛点，广泛配套半导体薄膜沉积、晶圆检测、光学真空镀膜、实验室精密真空设备等高洁净真空管路。
产品采用阀体与针阀一体化集成结构，相比传统分体阀组，整体配管占用空间缩减至四分之一，简化现场管路布局，降低设备机架装配难度。阀座密封核心采用金属隔膜结构，运行过程无机械摩擦，可大幅减少管路内部微粒生成，契合超高纯真空制程洁净标准。阀体主体为 SUS316L 不锈钢，内腔电解抛光处理，放气率极低，标配 FKM 氟橡胶密封件，适配洁净干燥空气、高纯氮气等惰性工艺气体。
XVD 具备分段可调通气逻辑，可分别调节初期微流量供气与主回路大流量供气。腔体复压阶段先开启副阀，通过针阀缓慢导入微量气体平稳提升腔体压力，待压力平衡后再切换至主阀全开，完成快速复压，避免气流紊动扬起腔体粉尘污染晶圆、光学元件等精密工件。
阀门为单作用常闭结构，无驱动气压时弹簧压紧密封面保持关断，工作压力覆盖 1×10⁻⁶Pa 绝对真空至 0.2MPa 表压，配备 VCR 金属面密封、卡套式两种 1/4 英寸标准接头，适配高纯真空管路规范。设备整体符合 RoHS 环保标准，密封隔膜、密封圈等易损件可单独拆装更换，运维成本更低，为高真空腔体安全平稳破真空提供标准化完整解决方案。
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