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温控器 INR-498-016E-X007是 SMC INR-498 系列大功率水冷式 CO₂天然冷媒温控机组，专为半导体刻蚀、薄膜沉积、晶圆检测等高负载洁净工艺定制，整机采用无氟 R744 二氧化碳冷媒，GWP 值仅为 1，符合欧盟 F-Gas、美国及加州冷媒管控标准，可直接替换传统高 GWP 冷媒冷水机，适配出口型半导体设备与无尘智能工厂。
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2026-07-28
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温控器 INR-498-011D-2是 SMC INR-498 系列大功率水冷式 CO₂天然冷媒循环温控设备，专为半导体刻蚀、薄膜沉积、晶圆探针测试等高负载洁净工艺打造，整机采用无氟 R744 二氧化碳冷媒，GWP 值仅为 1，满足欧盟 F-Gas、美国及加州冷媒管控标准，是传统高 GWP 冷媒冷水机的低碳合规替换机型。
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2026-07-28
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温控器 INR-495-023-X014-2是 SMC INR-495 系列定制款水冷冷冻式温控设备，搭载天然 CO₂（R744）无氟冷媒，GWP 值仅为 1，适配欧盟 F-Gas、美国及加州冷媒管控标准，专为半导体晶圆探针测试、薄膜沉积、精密蚀刻等高洁净工艺打造，是传统高 GWP 冷媒设备的低碳合规替换机型。
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2026-07-28
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温控器 INR-495-025-2是 SMC 面向半导工艺打造的二氧化碳冷媒冷冻式循环液温控设备，整机采用天然 CO₂环保冷媒，不含任何含氟介质，豁免欧盟 F-Gas 法规限制，适配晶圆探针测试、薄膜沉积、精密光刻设备等严苛洁净产线，是半导体产线低碳合规的专业恒温冷却解决方案。
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2026-07-28
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温控器 INR-494-009是 SMC 专为半导体湿法工艺、精密检测设备打造的水冷型珀耳帖循环液温控装置，依托半导体热电效应实现冷热双向调温，整机不含压缩机与氟利昂冷媒，不受全球 F-Gas 含氟气体法规约束，绿色合规适配出口设备与洁净智能工厂，广泛用于晶圆清洗、蚀刻、微量化学试剂恒温反应、光学元器件标定等高精度温控工况。
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2026-07-28
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珀耳帖式化学液温控器 HED是 SMC 针对化工、半导体湿法工艺研发的珀耳帖式化学液专用温控设备，采用半导体热电调温技术，无压缩机、无氟冷媒，不受 F-Gas 法规管控，适配各类腐蚀性工艺药液恒温管控，广泛用于晶圆清洗、蚀刻工艺、实验室化学合成、微量试剂恒温反应等工况，是腐蚀介质专用轻量化恒温解决方案。
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2026-07-28
56
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