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温控器 INR-498-011D-2是 SMC INR-498 系列大功率水冷式 CO₂天然冷媒循环温控设备，专为半导体刻蚀、薄膜沉积、晶圆探针测试等高负载洁净工艺打造，整机采用无氟 R744 二氧化碳冷媒，GWP 值仅为 1，满足欧盟 F-Gas、美国及加州冷媒管控标准，是传统高 GWP 冷媒冷水机的低碳合规替换机型。
温控器 INR-498-011D-2搭载高效跨临界 CO₂制冷系统，搭配独立电加热补偿单元，额定冷却能力 11.3kW，温控区间覆盖 - 20℃至 70℃，温度稳定精度可达 ±1℃，搭载工业级多段 PID 闭环调控逻辑，可快速平衡芯片持续产热、洁净车间环境温差带来的温度波动，稳定氟化液循环温度，有效规避温度漂移引发的晶圆检测数据偏差、薄膜厚度不均、等离子刻蚀速率失衡等生产缺陷CAE。
整机循环回路适配半导体专用氟化液，介质接触腔体、管路全部采用无铜不锈钢防腐洁净材质，杜绝金属离子析出污染晶圆；内置大流量耐腐蚀循环泵与高精度前置过滤组件，持续拦截介质内细微颗粒，保障管路长期洁净通畅。设备采用一体式水冷换热结构，换热效率高，运行不会向无尘车间释放多余热量，机身紧凑型工业设计，整机高度 914mm，适配产线原有设备安装位，无需大规模改造产线布局CAE。
机身配备集成式高清数显操作面板，可实时查看介质温度、循环流量、机组运行压力与故障代码，温度、流量、多级报警阈值可直观自定义；标配 RS485 工业通讯接口，可对接产线 PLC 控制系统，实现远程参数修改、运行数据存储、故障信号远程上传，适配全自动智能化半导体产线。
整机搭载全套高阶安全防护体系，包含介质低液位保护、压缩机高低压过载保护、超温自动停机、冷却水断流保护、低温防冻保护等功能，设备出现异常即刻停机并输出告警信号，保护昂贵半导体工艺设备。内部滤芯、密封件、循环泵等易损配件拆装简便，无需专业工具，日常仅需定期清洁滤网、更换循环介质，运维成本低廉，可支撑半导体产线 24 小时不间断连续量产。
INR-498-011D-2 依托 CO₂无氟环保冷媒、大功率宽温域精准控温、洁净防腐回路、水冷高效散热、自动化智能联动的核心优势，为半导体高负载精密工艺提供长效稳定、合规低碳的标准化温控解决方案。
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