温控器 INR-494-009是 SMC 专为半导体湿法工艺、精密检测设备打造的水冷型珀耳帖循环液温控装置，依托半导体热电效应实现冷热双向调温，整机不含压缩机与氟利昂冷媒，不受全球 F-Gas 含氟气体法规约束，绿色合规适配出口设备与洁净智能工厂，广泛用于晶圆清洗、蚀刻、微量化学试剂恒温反应、光学元器件标定等高精度温控工况。

Name: 温控器 INR-494-009
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-28

厂商性质：代理商

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温控器 INR-494-009是 SMC 专为半导体湿法工艺、精密检测设备打造的水冷型珀耳帖循环液温控装置，依托半导体热电效应实现冷热双向调温，整机不含压缩机与氟利昂冷媒，不受全球 F-Gas 含氟气体法规约束，绿色合规适配出口设备与洁净智能工厂，广泛用于晶圆清洗、蚀刻、微量化学试剂恒温反应、光学元器件标定等高精度温控工况。

温控器 INR-494-009依靠珀耳帖元件快速切换制冷、加热模式，无压缩机启停造成的温度震荡。温控区间覆盖 0℃至 60℃，搭载热电专用高精度 PID 闭环调控算法，温度稳定度可达 ±0.03℃，可快速抵消化学反应放热、车间环境温差、元器件动态产热带来的温度偏移，稳定工艺温度，避免蚀刻速率不均、芯片检测数据失真、光学元件热变形等工艺缺陷。

整机接触循环介质的管路、腔体全部采用耐腐蚀不锈钢与高纯树脂材质，不含铜、铝易析出金属，可适配纯水、乙二醇水溶液、氟化液等多种导热介质，不会污染晶圆与精密试样；内部搭载专用耐腐蚀循环泵与精密前置过滤组件，持续过滤药液微小杂质，长期运行不易管路积垢、堵塞、渗漏。

设备采用一体式水冷换热结构，换热效率高，不向洁净车间排放多余热量；整机无压缩机机械震动，运行噪音低至 45dBA，适配半导体无尘车间、静音精密实验室等对震动、噪音高度敏感的作业环境。机身配备高清数字操作面板，可实时显示介质温度、循环流量、机组运行压力与故障代码，温度上下限、超温报警阈值可快速自定义设定；标配 RS485 通讯接口，可对接产线 PLC 控制系统，实现远程参数修改、运行数据存储与故障信号上传，自动化集成能力优异。

整机搭载全套安全防护体系，包含药液低液位保护、珀耳帖元件过热保护、超温自动停机、耐腐蚀泵过载保护、冷却水断流保护等功能，出现缺水、漏液、温度超标、泵体异常等故障时即刻停机告警，保护后端高价精密工艺设备。设备结构紧凑，耐腐蚀滤芯、密封配件拆装简易，日常仅需定期更换过滤耗材、清洗循环管路，运维成本低廉，可支持半导体、化工产线 24 小时不间断连续运行。

INR-494-009 凭借无氟环保热电调温、超高恒温精度、耐腐蚀介质适配、低震静音水冷运行、便捷自动化对接的多重优势，为半导体湿法工艺、精密理化实验室提供稳定合规、长效耐用的标准化温控解决方案。

上一个：珀耳帖式化学液温控器 HED