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温控器 INR-495-025-2是 SMC 面向半导工艺打造的二氧化碳冷媒冷冻式循环液温控设备，整机采用天然 CO₂环保冷媒，不含任何含氟介质，豁免欧盟 F-Gas 法规限制，适配晶圆探针测试、薄膜沉积、精密光刻设备等严苛洁净产线，是半导体产线低碳合规的专业恒温冷却解决方案。
温控器 INR-495-025-2依托跨临界 CO₂制冷系统实现稳定制冷，搭配独立电加热补偿单元，温控区间覆盖 - 10℃至 50℃，搭载工业级多段 PID 闭环调控程序，温度波动控制在 ±0.1℃以内。面对芯片持续产热、洁净车间环境温差波动等复杂工况，制冷与加热单元可快速联动调节，稳定循环介质温度，有效杜绝温度漂移引发的芯片检测数据偏差、薄膜厚度不均、光刻工艺精度下降等生产缺陷。
设备循环回路可适配专用氟化液、高纯度去离子水、低浓度乙二醇介质，介质接触部件采用无铜防腐洁净材质，不会析出金属离子污染晶圆；内置高精度过滤组件，持续拦截介质内微小颗粒，保障循环管路长期洁净通畅。整机采用水冷换热结构，换热效率高，运行过程不会向洁净车间散发热量，适配恒温无尘半导体厂房。
机身搭载集成式高清数显操作面板，可实时查看介质温度、循环流量、机组运行压力、故障代码，温度区间、多级报警阈值可快速自定义；标配工业通讯接口，可对接产线 PLC 系统，实现远程参数调控、运行数据记录、故障信号远程上传，适配全自动智能化半导体产线。
整机配备全套高阶安全防护体系，包含介质低液位保护、压缩机高低压过载保护、超温自动停机、冷却水断流保护、低温防冻保护等功能，设备出现异常即刻停机并输出告警信号，保护昂贵半导体工艺设备。设备标准化机身结构，管路接口通用，内部滤芯、密封件等易损配件拆装简便，日常运维流程简单，维护成本低廉，可支撑半导体产线 24 小时不间断连续量产。
INR-495-025-2 以 CO₂无氟环保冷媒、宽温域精准控温、洁净防腐回路、水冷高效散热、自动化智能联动的核心优势，为半导体精密工艺提供长效稳定、合规低碳的标准化温控解决方案。
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