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SMC XLA‑25‑2 铝制高真空 L 型角阀
产品简介

SMC XLA‑25‑2 铝制高真空 L 型角阀属于 SMC XLA‑2 系列气动高真空角阀,KF25 法兰规格,单作用常闭结构,波纹管密封形式,依靠外部先导气源实现阀门启闭,无内置电磁阀,适配高真空管路通断控制,广泛应用于真空腔体、半导体、科研实验等洁净真空工况。

产品型号:
更新时间:2026-10-13
厂商性质:代理商
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SMC XLA‑25‑2 铝制高真空 L 型角阀属于 SMC XLA‑2 系列气动高真空角阀,KF25 法兰规格,单作用常闭结构,波纹管密封形式,依靠外部先导气源实现阀门启闭,无内置电磁阀,适配高真空管路通断控制,广泛应用于真空腔体、半导体、科研实验等洁净真空工况。

SMC XLA‑25‑2 铝制高真空 L 型角阀采用铝合金材质,外部硬质阳极氧化处理,内部保持基材状态,整体轻量化、结构紧凑。阀体导热性能良好,烘烤时温度分布均匀,可减少内部气体冷凝析出。配置 SUS316L 不锈钢波纹管作为轴封,波纹管可单独更换,维护成本更低。低出气设计,重金属析出少,可降低对真空腔体的污染,对含氟气体具备良好耐腐蚀性。

产品基础性能参数,适用介质为真空环境下的惰性气体。压力适用范围 1×10⁻⁶Pa 至大气压,内部漏率 1.3×10⁻¹⁰Pa・m³/s,外部漏率 1.3×10⁻¹¹Pa・m³/s。先导驱动气源压力 0.4‑0.7MPa,先导接口 M5,通导能力 14L/s。工作环境温度 5‑60 摄氏度,标准密封件为 FKM 氟橡胶。采用 KF (NW25) 快拆法兰,拆装便捷,可快速对接真空管路系统。

阀门为弹簧复位常闭型式,通入先导气压阀门开启,切断先导气源后弹簧驱动阀门自动关闭,保障真空系统安全。波纹管隔离大气侧与真空侧,杜绝轴杆处的大气渗漏,维持系统高真空度。产品无位置反馈开关,如需信号反馈可额外选配开关附件。适合真空镀膜设备、实验室真空腔体、半导体工艺设备、真空脱泡装置等真空管路通断控制场景。整套为标准 KF25 规格气控角阀,采购备件直接选用完整型号,减少配件选型失误。

使用时先导气源需要经过过滤处理,保证压缩空气洁净干燥。安装注意阀体流向,法兰装配保证密封面清洁无划痕,定期检查波纹管与密封件状态,避免颗粒杂质损伤密封组件。XLA‑25‑2 高真空角阀漏率低、出气少,拆装维护便捷,是洁净真空系统可靠的管路通断元件,便于项目选型与备件替换。


XLA-25L-2

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