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SMC XLA‑80‑2‑XF1A 高真空波纹管角阀属于 SMC XLA 系列铝制单作用常闭波纹管密封高真空角阀，KF80 法兰规格，2 代表气控驱动形式，XF1A 为密封件及阀体表面处理定制选项，采用不锈钢波纹管轴封结构，低析出无尘洁净规格，多用于真空镀膜、光伏、半导体工艺设备的真空管路通断控制。
SMC XLA‑80‑2‑XF1A 高真空波纹管角阀采用铝合金材质，外部硬质阳极氧化处理，具备均匀烘烤除气能力，放气率低，重金属析出少，适配洁净工艺环境。轴杆部位采用可更换式 316L 不锈钢波纹管密封，隔绝大气侧杂质向真空腔体内泄漏，避免油脂、粉尘污染真空腔体，波纹管组件可单独更换，降低后期维护成本。单作用弹簧复位结构，断气状态阀门自动关闭，具备安全切断能力，KF80 标准快拆法兰，拆装便捷，管路通用性强。
产品基础性能参数，公称法兰 KF80，声导能力 200L/s，适用介质为惰性气体及真空环境，极限真空 1×10⁻⁶Pa，内外泄漏率满足高真空标准，工作温度 5‑60℃，先导驱动压力 0.3‑0.6MPa。XF1A 定制规格针对密封件与阀体局部做优化处理，适配特殊工艺气体工况，无内置磁性开关，可根据现场需求选配阀位反馈组件。阀内部无多余润滑油脂，满足无尘工艺要求，抗腐蚀性能优异。
该真空角阀广泛应用于真空镀膜机、半导体工艺腔体、光伏生产设备、科研真空系统，实现腔体抽气隔离、工艺气路通断，断气自动关闭可实现气路安全保护，规避工艺事故。整套为完整气控真空角阀总成，采购备件直接选用完整型号，规避配件匹配失误。
使用时装配过程保证法兰密封面洁净无损伤，O 型密封圈避免划伤；驱动气源做好过滤净化，防止杂质进入驱动气缸。波纹管属于易损件，按照使用周期定期检查更换，防止真空泄漏。XLA‑80‑2‑XF1A 波纹管密封高真空角阀，断气自动闭合，洁净低放气，通流能力大，运行稳定可靠，广泛用于各类工业真空设备，便于项目选型与备件替换。
XLA-80A-2A93LA
XLC-25-2M9//-XF1A
XLC-40K-2-XF1A
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XLA-16-2M9//-XF1A
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XLC-16-2M9//
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