SMC XLF‑25‑2M9 高真空波纹管角阀

产品简介

SMC XLF‑25‑2M9 高真空波纹管角阀采用轻量化铝合金本体，表面硬质阳极氧化处理，放气率低，可烘烤除气，满足洁净工艺需求。阀杆采用不锈钢波纹管全密封结构，隔绝大气侧杂质进入真空腔体，消除轴杆位置微泄漏，无润滑油脂，不会污染真空腔内部件，波纹管组件可单独更换，降低后期运维成本。

Name: SMC XLF‑25‑2M9 高真空波纹管角阀
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-10-14

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SMC XLF‑25‑2M9 高真空波纹管角阀属于 SMC XLF 系列高真空波纹管密封角阀，KF25 法兰规格，2 代表双作用气动驱动，M9 配套 D-M9 系列无触点磁性开关，用于真空管路通断控制，波纹管密封结构实现无油脂、低析出洁净密封，适配半导体、真空镀膜、科研真空系统等洁净真空管路场景。

SMC XLF‑25‑2M9 高真空波纹管角阀采用轻量化铝合金本体，表面硬质阳极氧化处理，放气率低，可烘烤除气，满足洁净工艺需求。阀杆采用不锈钢波纹管全密封结构，隔绝大气侧杂质进入真空腔体，消除轴杆位置微泄漏，无润滑油脂，不会污染真空腔内部件，波纹管组件可单独更换，降低后期运维成本。双作用气动驱动，通气分别执行阀门开启与关闭，无弹簧复位，保持当前阀位，KF25 标准快拆法兰，拆装简便，管路通用性好。

产品基础性能参数，公称法兰 KF25，声导能力 12L/s，适用介质为惰性气体、真空环境，工作温度 5‑60℃，先导驱动压力 0.3‑0.7MPa。装配 D-M9 无触点磁性开关，可检测阀门全开、全闭位置状态，DC24V 供电，自带状态指示灯，阀位信号输出可直接对接 PLC，实现真空回路联锁保护。阀体内部无多余润滑介质，抗腐蚀，适合多种工艺气体工况。

该真空角阀多用于真空镀膜设备、半导体工艺腔体、光伏设备、实验室真空装置，实现抽气通道隔断、工艺气路通断控制，磁性开关实时反馈阀位，规避误操作引发的工艺故障。整套为完整气控角阀总成，采购备件直接选用完整型号，规避配件匹配失误。

装配时需要保证 KF 法兰密封面洁净无划痕，密封圈避免磕碰损伤；驱动气源前端加装过滤器，防止杂质进入驱动气缸。波纹管属于易损件，按使用周期定期检测，出现老化及时更换，防止真空泄漏。XLF‑25‑2M9 波纹管密封高真空角阀，洁净低放气，带阀位信号反馈，结构紧凑运行稳定，广泛用于各类工业真空设备，便于项目选型与备件替换。

XLF-25MH0-2-XAN1A

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