不锈钢制高真空L型/直通型阀XM/XY
●精密铸件一体构造, 无气体聚积
●可与铝制高真空L型阀XL系列(XM系列)互换安装
注)直接配管型无16尺寸
不锈钢制高真空L型/直通型阀XM/XY，面向泛半导体、真空镀膜及特种工艺设备，分别实现 L 型角向与直通式管路通断控制，阀体全部采用不锈钢材质打造，适配对耐腐蚀性、低放气、耐高温有严苛要求的高真空系统。XM 为 L 型角阀，XY 为直通阀，两种结构形态，满足不同管路走向布局需求。
阀体采用不锈钢整体加工，内壁经过精细处理，放气速率低，耐烘烤性能优异，可承受高温除气作业，有效抑制工艺介质残留与析出，减少微粒产生。相较于铝制阀体，不锈钢拥有更强抗腐蚀能力，适合接触含卤素等腐蚀性工艺气体的工况，机械强度更高，抗形变能力突出，适配长期连续生产的工业设备。
内部搭载不锈钢波纹管全隔离密封结构，将气动驱动气缸与真空流道分隔，消除轴封往复摩擦带来的发尘隐患，保障极低泄漏率，稳定维持腔体高真空环境。波纹管组件可单独更换，无需整体更换阀体，降低后期备件投入，延长阀门整体使用寿命。产品采用双作用气动驱动，启闭动作平稳，循环寿命高，可接入自动化气源，适配产线高频次启闭工况。
XM 角阀改变管路流向，节省设备内部安装空间；XY 直通阀管路直线贯通，流阻更小、流导性能更优，缩短腔体抽真空时间。支持多方位安装，整机管路设计自由度高。可加装磁性开关，实时反馈阀门开闭状态，便于接入设备控制系统，实现工艺联锁监控。密封件可根据工艺介质灵活选配，进一步适配腐蚀性、易凝结气体环境。法兰兼容主流真空标准接口，拆装对接便捷。
XM/XY 不锈钢高真空阀门，兼顾强度、耐蚀与洁净真空性能，为复杂严苛的高真空工艺提供稳定可靠的管路通断解决方案，保障真空设备持续稳定运行。
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