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13 代表真空吸引式洁净专用系列，出厂高纯吹扫、低析出管控，防静电密封包装，适配真空腔体共存工况；MXQ 为循环滚珠导轨精密滑台气缸，L 代表对称本体结构；12 为缸径 12mm；100 代表行程 100mm；C 代表单侧配管规格，气口集中布置在单一侧面，双作用结构，内置磁环，缸体预留磁性开关安装槽，滑动区域配置真空抽吸通道，将摩擦产生微粒抽出腔外，适合真空洁净环境长行程精密输送定位。
缸径 12mm，行程 100mm，双作用；工作压力 0.15~0.7MPa，耐压 1.05MPa；接管螺纹 M5×0.8；适用介质洁净干燥压缩空气，无油润滑；使用温度 - 10~60℃，无结冰条件稳定运行；活塞运行速度 50~500mm/s；两端橡胶缓冲垫；循环滚珠导轨导向，重复定位精度 ±0.05mm；密封件、导轨润滑介质采用无铜无硅氟系低析出配方，严控颗粒物、有机挥发物释放；内置磁环，支持选配磁性开关采集两端到位信号，自带真空抽吸口，外接负压管路实现抑发尘。
SMC 13-MXQ12L-100C 洁净系列精密气动滑台一体化循环滚珠直线导轨结构，刚性高、间隙极小，往复运动平行度优异，抗偏载、抗扭转能力强；对称型本体布局，台面多方向预留安装螺纹孔，工件直接锁固，装配基准统一；C 型单侧配管设计，气口集中在一侧，管路排布整齐，减少侧向管线干涉，节省设备布局空间；真空抽吸抑发尘结构，导轨滑动摩擦产生的微量粉尘通过真空通道抽离，避免微粒滞留污染真空腔体；轻量化改良本体，滑台自重更低，适配高速往复工况；两端橡胶缓冲，缓和末端冲击，降低震动与噪音；缸体侧面集成磁性开关槽，磁性开关嵌入式安装，不与周边治具干涉；本体表面光滑不易积尘，适配高等级真空洁净制程。
SMC 13-MXQ12L-100C 洁净系列精密气动滑台多用于半导体晶圆真空搬运、光学镜片真空检测平台、锂电真空洁净工位、医疗精密真空自动化、生物检测真空治具，常搭配 13 系列洁净电磁阀、洁净快插接头、节流阀、真空过滤器配套使用，完成工件长距离平移、送料、精准定位、分选取放等精密直线动作，是真空洁净自动化设备中高精度长行程滑台执行元件。
气源前端配置精密过滤器、油雾分离器，保证气源干燥无尘无油，硬质颗粒会损伤滚珠导轨与密封件，增大发尘；安装基准面平面度控制在 0.05mm 以内，保证导轨基准平直，防止偏载卡死、异常磨损；真空管路需要持续稳定负压，保证抑尘效果；气管切口平整无毛刺，避免碎屑进入滑台内部；不可通入腐蚀性气体、有机溶剂蒸汽；调试磁性开关时确认感应区间，防止信号误触发；定期检查滑台运行状态，有无异响、卡滞、漏气；闲置气口做好封堵；存放于干燥防静电环境，远离油污、粉尘、化学品以及强磁场。
13-MXQ12L-10A
13-MXQ12L-10AT
13-MXQ12L-20A
13-MXQ12L-20A93
13-MXQ12L-20CS
13-MXQ12L20M9NL
13-MXQ12L30AF9N
13-MXQ12L-40A
13-MXQ12L-40C
13MXQ12L50AF9PW
13MXQ12L50BF9PW
13MXQ12L50CTF9P
13MXQ12L75ASPA9
13-MXQ16-125A
13-MXQ16-125AS
13MXQ16125ASA93
13-MXQ16-20
13-MXQ16-50A
13-MXQ16-50AS
13-MXQ16-50AT
13-MXQ16-75
13-MXQ1675AA93L
13-MXQ16L-30
13-MXQ16L-50AS
13MXQ20150AA93L
13MXQ20150ASA93
13-MXQ20-150C
13-MXQ20-20A
13-MXQ20-30A
13-MXQ20-30AS
13-MXQ20-40A
13-MXQ20-50
13-MXQ20-50A
13MXQ20L100AA93
13-MXQ20L-150AT
13-MXQ20L-50AS
13-MXQ6-10
13-MXQ6-10A
13-MXQ6-10AA93L
13-MXQ6-10A-M9B
13-MXQ6-10AS
13-MXQ6-10ASP
13-MXQ6-10AT
13-MXQ6-10CS
13-MXQ6-10-M9PV
13-MXQ6-20
13-MXQ6-20A
13-MXQ6-20AS
13-MXQ6-30
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