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13 代表真空吸引式洁净专用系列,滑动部位特殊低析出处理,出厂高纯吹扫、防静电密封包装,适配真空腔体共存工况;MGPL 属于 MGP-Z 紧凑型导杆气缸,L 代表滚珠衬套轴承导向;12 为缸径 12mm;40 代表行程 40mm;Z 为新一代轻量化改良版本,内置磁环,缸体预留磁性开关安装槽,双作用结构,集成双导杆承载导向,适合洁净真空环境下顶升、推料、挡料负载驱动。
缸径 12mm,行程 40mm,双作用;工作压力 0.12~1.0MPa,耐压 1.5MPa;接管螺纹 M5×0.8;适用介质洁净干燥压缩空气,无油润滑;使用温度 - 10~60℃,无结冰条件稳定运行;活塞运行速度 50~400mm/s;两端橡胶缓冲垫;滚珠衬套导向,防旋转精度 ±0.1°;密封件、润滑介质采用无铜无硅低析出氟系配方,严控微粒、有机挥发物释放;内置磁环,支持选配磁性开关采集到位信号,真空吸引结构可将摩擦产生的微颗粒抽吸排出腔外。
SMC 13-MGPL12-40Z 真空吸引带导杆薄型气缸一体式双导杆 + 滚珠衬套导向结构,导向刚性强,抗偏载、抗扭转性能优异,负载不偏转;轻量化新版本体,导杆缩短、端板减薄,相比旧款体积更小、重量更轻,节省设备安装空间;前端浮动载板设计,负载直接锁固在载板上,装配调试便捷;真空吸引抑发尘结构,滑动摩擦产生的微量粉尘被抽吸导出,避免微粒滞留污染真空腔体;两端橡胶缓冲,缓和往复末端冲击,降低震动与噪音;缸体侧面集成磁性开关槽,磁性开关可直接嵌入安装,无需额外转接支架,不干涉周边治具;本体表面平整光滑,不易积尘,适配高等级真空洁净环境。
SMC 13-MGPL12-40Z 真空吸引带导杆薄型气缸多用于半导体晶圆真空腔体、光学镜片真空检测平台、锂电真空洁净工位、医疗精密真空自动化、生物检测真空治具,常搭配 13 系列洁净电磁阀、洁净快插接头、微型节流阀、真空过滤器配套使用,完成工件顶升、定位、夹紧、挡料、轻载推送等直线动作,是真空洁净自动化设备常用的带导向执行元件。
气源前端配置精密过滤器、油雾分离器,保证气源干燥无尘无油,硬质颗粒会划伤滚珠衬套与密封件,增大发尘;安装基准面平面度控制在 0.05mm 以内,保证两根导杆平行,防止导向卡死、偏磨;气管切口平整无毛刺,避免碎屑进入气缸;不可通入腐蚀性气体、有机溶剂蒸汽;调试磁性开关时确认感应区间,防止信号误触发;定期检查导杆表面、密封位置有无漏气、异响;闲置气口做好封堵;存放于干燥防静电环境,远离油污、粉尘以及化学品。
13-MGPL1240Z73L
13MGPL1240ZA93L
13MGPL1275Y59AL
13-MGPL16-10
13-MGPL16100Z73
13-MGPL16-20
13-MGPL16-20Z
13-MGPL16-30
13-MGPL1630Z73L
13-MGPL1650Z73L
13-MGPL16-75
13-MGPL20-20
13-MGPL2020Y7PL
13-MGPL20-20Z
13-MGPL20-30
13-MGPL2030Y7PL
13-MGPL25-30
13-MGPL32TF-25Z
13-MGPL50125Z73
13MGPL50125Z73L
13MGPL5012SZ73L
13-MXQ12-100A
13MXQ12100AA93L
13-MXQ12-100C
13-MXQ12-10A
13-MXQ12-10AS
13-MXQ12-20
13-MXQ12-20A
13-MXQ12-20AS
13-MXQ12-20C
13-MXQ12-30A
13-MXQ12-30-A93
13MXQ1230ASA93L
13-MXQ12-30AT
13-MXQ1230ATA93
13-MXQ1230ATF9N
13-MXQ12-30C
13-MXQ12-30M9NL
13-MXQ12-40
13-MXQ12-40A
13-MXQ12-40AS
13-MXQ12-40C
13-MXQ12-50A
13-MXQ12-50AS
13-MXQ12-50CS
13-MXQ12-75
13-MXQ12-75A
13-MXQ12L-100A
13-MXQ12L-100AS