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13 代表真空吸引式洁净专用系列，出厂经过高纯空气吹扫、低析出管控，防静电密封包装，适配真空腔体共存工况；MXQ 属于循环滚珠导轨式精密滑台气缸；6 为缸径 6mm；30 代表行程 30mm；A 代表两端自带可调气缓冲规格，双作用结构，内置磁环，缸体预留磁性开关安装槽，滑动区域配置真空抽吸通道，可将摩擦产生的微颗粒抽出腔体，适合真空洁净环境短行程精密定位。
缸径 6mm，行程 30mm，双作用；工作压力 0.15~0.7MPa，耐压 1.05MPa；接管规格 M3；适用介质洁净干燥压缩空气，无油润滑；使用温度区间 - 10~60℃，无结冰条件可稳定运行；活塞运行速度 50~500mm/s；两端可调气缓冲；循环滚珠导轨导向，重复定位精度 ±0.05mm；密封件、导轨润滑介质采用无铜无硅氟系低析出配方，严控颗粒物、有机挥发物释放；内置磁环，支持选配磁性开关采集到位信号，配套真空抽吸接口实现抑发尘效果。
SMC 13-MXQ6-30A 洁净系列精密气动滑台一体化循环滚珠直线导轨结构，刚性好、间隙微小，往复运动平行度优异，动作顺滑稳定；滑台台面预留多方向安装螺纹孔，工件可直接锁附，装配基准统一；A 规格可调气缓冲，可根据负载、速度微调缓冲力度，有效降低末端冲击、震动和噪音；真空抽吸抑发尘结构，导轨滑动摩擦产生的微量粉尘通过真空通道抽离，避免微粒滞留污染真空腔体；本体紧凑小巧，适合设备狭小空间布局；缸体侧面集成磁性开关槽，磁性开关嵌入式安装，不会和周边治具产生干涉；缸体表面光滑平整，不易积尘，适配高等级真空洁净制程。
SMC 13-MXQ6-30A 洁净系列精密气动滑台多用于半导体芯片真空检测工位、光学镜片微组装真空平台、微型真空吸附治具、医疗精密真空自动化、锂电洁净微工位，常搭配 13 系列洁净电磁阀、洁净快插接头、微型节流阀、真空过滤器配套使用，完成轻载工件平移、定位、挡料、微小物料推送等短行程精密动作，是真空洁净自动化设备里常用的微型精密滑台执行元件。
气源前端配置精密过滤器、油雾分离器，保证气源干燥无尘无油，硬质颗粒会损伤滚珠导轨与密封件，增大发尘量；安装基准面平面度控制在 0.05mm 以内，保证导轨基准平直，防止偏载卡死、异常磨损；真空管路需要维持稳定负压，保障抑尘效果；气管切口平整无毛刺，避免碎屑进入滑台内部；不可通入腐蚀性气体、有机溶剂蒸汽；调节气缓冲时缓慢微调，避免撞击损伤工件与滑台；调试磁性开关时确认感应区间，防止信号误触发；定期检查滑台运行状态，有无异响、卡滞、漏气；闲置气口做好封堵；存放于干燥防静电环境，远离油污、粉尘、化学品以及强磁场。
13-MXQ6-30AS
13-MXQ6-30ASA93
13-MXQ630ASA93L
13-MXQ6-40A
13-MXQ6-40AA93L
13-MXQ6-50A
13-MXQ6-50A-A93
13-MXQ6-50AS
13-MXQ6-50CT
13-MXQ6-50CTA93
13-MXQ6-50CTF9N
13-MXQ6L-10A
13-MXQ6L-20A
13-MXQ6L-30
13-MXQ6L-30A
13-MXQ6L-30C
13-MXQ8-10
13-MXQ8-10A
13MXQ8-10A-A93L
13-MXQ8-10AS
13-MXQ810ASM9NL
13-MXQ8-10ASP
13-MXQ8-20
13-MXQ8-20A
13-MXQ8-20-A93
13-MXQ8-20A-M9N
13-MXQ8-20AS
13-MXQ8-20ASP
13-MXQ8-20CS
13-MXQ8-30
13-MXQ8-30A
13-MXQ8-30-M9B
13-MXQ8-40A
13-MXQ8-40AS
13-MXQ8-40CS
13-MXQ8-50
13-MXQ8-50A
13-MXQ8-50AA93L
13-MXQ8-50AS
13MXQ850ASA9352
13-MXQ8-50CS
13-MXQ8-75A
13-MXQ8-75AS
13-MXQ8-75C
13-MXQ8L-10A
13-MXQ8L10AA93L
13-MXQ8L-10CS
13-MXQ8L-20A
13-MXQ8L-20AM9N
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