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真空无杆气缸 CYV是 SMC 针对半导体真空腔体内部物料输送研发的直列式驱动元件，适配高真空腔体内部晶圆、基板的平移搬运，工作环境覆盖常压至 1×10⁻⁶Pa 超高真空区间，广泛配套 200mm、300mm 晶圆设备负载锁、真空传输腔等洁净真空设备。
气缸采用一体化不锈钢波纹管隔离结构，将外部驱动传动机构与真空腔体分隔，杜绝外部油脂、粉尘、杂质渗入真空流道，同时实现极低内外泄漏率，不会破坏腔体真空度。缸筒主体选用低放气 SUS316L 不锈钢，内腔精密抛光处理，气体析出量极低，无易脱落镀层，满足半导体超高洁净制程标准。
产品摒弃传统拉杆气缸结构，采用无杆内置滑块传动，整体轴向尺寸大幅缩短，同等行程下占用真空腔体空间更小，便于狭小真空腔内部布局。滑块与轨道之间采用低摩擦特种耐磨结构，往复运动微粒产生量极少，避免粉尘附着污染晶圆工件。标准行程规格齐全，可匹配不同腔体输送距离需求。
驱动气源适配 0.4~0.7MPa 标准洁净干燥空气，分为单作用、双作用两种驱动形式，可选断气保持机构，气源中断时锁定滑块位置，防止真空腔内部晶圆移位、掉落。可搭配真空专用无触点磁性开关，实时反馈滑块到位信号，信号接入 PLC 实现真空设备全自动搬运联锁控制。
密封件标配耐化学 FKM 氟橡胶，腐蚀工艺工况可更换全氟橡胶密封配件，耐卤素、酸碱腐蚀。波纹管、密封圈等易损件可单独拆装更换，无需整体拆卸气缸，大幅缩短真空设备停机维护时长。整机符合 RoHS 环保规范，往复循环使用寿命长久，适配无尘车间长期连续作业。CYV 真空无杆气缸以波纹管隔离洁净结构、紧凑型无杆布局、稳定真空适配能力，为半导体真空腔体内部精密物料平移输送提供专业完整解决方案。
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