铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G为 SMC 全系列铝制气动高真空 L 型角阀，四款阀体主体尺寸、法兰规格统一，仅驱动方式、密封结构存在区分，适配 KF16、KF40 通用真空法兰，多用于真空镀膜、半导体刻蚀、薄膜沉积、实验室真空分析仪器等高真空管路通断控制。

Name: 铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-28

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铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G

●采用铝制主体
均一的焙温度
轻量·紧凑
气体溢出少
重金属污染少
●可更换波纹管

铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G为 SMC 全系列铝制气动高真空 L 型角阀，四款阀体主体尺寸、法兰规格统一，仅驱动方式、密封结构存在区分，适配 KF16、KF40 通用真空法兰，多用于真空镀膜、半导体刻蚀、薄膜沉积、实验室真空分析仪器等高真空管路通断控制。

阀体采用轻量化铝合金一体成型，表面硬质阳极氧化处理，低放气、低微粒析出，不易吸附工艺残留气体，适配洁净真空环境。整体自重远优于不锈钢真空阀，机架集成安装更为便捷，导热性能均衡，搭配加热选件可抑制腐蚀性工艺气体冷凝附着，减少腔体污染。

四款型号结构划分清晰。XLA、XLC 采用不锈钢波纹管全密封结构，波纹管隔绝驱动气缸与真空流道，无轴封外漏风险，极限泄漏率极低，无机械摩擦产尘，满足超高洁净真空工艺；其中 XLA 为单作用常闭型，XLC 为双作用驱动型。XLF、XLG 采用 O 型圈密封结构，结构简洁、成本更低，适配常规中高真空工况；XLF 单作用常闭，XLG 双作用，可按需匹配不同自动化控制逻辑。

阀门标准驱动气源压力 0.4~0.7MPa，可选集成先导电磁阀一体式阀体，简化外部配管；可加装无触点磁性开关，实时传输阀门全开、全关信号，对接产线 PLC 实现自动化联锁管控。密封标配 FKM 氟橡胶，可更换耐化学特种密封件，适配各类腐蚀性真空工艺气体。设备可选高温加热组件，最高耐受 150℃工作温度，防止介质凝霜堵塞流道。

阀体流导性能优异，狭小机身可实现大流量抽气，节省真空管路安装空间。波纹管、密封环等易损配件可单独更换，无需整体更换阀体，长期运维成本更低，整机符合 RoHS 环保标准。

XLA/C/F/G 铝制高真空 L 型阀依靠轻量化洁净腔体、两种密封方案、多驱动规格、高温与自动化选配功能，为真空精密制程提供完整管路通断解决方案，兼顾洁净度、通用性与设备长期运行稳定性。

上一个：高真空L型阀 XL□C