铝制高真空L型阀 XLA/C-100·160（-1）-X152是 SMC 专为大口径高真空管路开发的定制款铝制 L 型角阀，分为 XLA 单作用常闭型、XLC 双作用型两大规格，适配 KF100、KF160 大口径真空法兰，核心用于半导体镀膜、大型真空腔体、工业除尘净化等高洁净大流量真空工况施。

Name: 铝制高真空L型阀 XLA/C-100·160（-1）-X152
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-28

厂商性质：代理商

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铝制高真空L型阀 XLA/C-100·160（-1）-X152

●波纹管耐久性增强(法兰尺寸100、160)

●使用寿命: 200万次

●可节省安装空间

不限定排气方向（阀体侧←→波纹管侧可双向）

安装方式自由度提升

●轻量·紧凑

铝制高真空L型阀 XLA/C-100·160（-1）-X152是 SMC 专为大口径高真空管路开发的定制款铝制 L 型角阀，分为 XLA 单作用常闭型、XLC 双作用型两大规格，适配 KF100、KF160 大口径真空法兰，核心用于半导体镀膜、大型真空腔体、工业除尘净化等高洁净大流量真空工况施。

阀体采用轻量化铝合金一体成型，外部硬质阳极氧化处理，内腔无镀层、低放气、低重金属析出，可避免晶圆被溅射金属污染；铝合金导热均匀，搭配可选加热组件可实现 100~120℃恒温控温，有效抑制腐蚀性工艺气体冷凝附着腔体内部。阀门核心密封结构为 SUS316L 不锈钢一体波纹管，隔绝驱动气缸与真空流道，无轴向外漏风险，标准 FKM 氟橡胶密封下，外部泄漏率低至 1.3×10⁻¹¹Pa・m³/s，极限工作真空可达 1×10⁻⁶Pa。

该定制 X152 型号重点强化波纹管耐久性能，大口径 100/160 规格使用寿命可达 200 万次循环，大幅降低长期运维配件更换频率。设备采用 0.4~0.7MPa 标准气源气控驱动，创新压力平衡结构实现无排气方向限制，阀体侧、波纹管侧双向排气均可，安装姿态不受约束，适配各类紧凑设备机架布局，小体积可实现 300~800L/s 大流量流导，节省真空机组安装空间。

产品支持多项选配功能，可加装无触点磁性开关，实时反馈阀门全开、全关信号，对接产线 PLC 实现自动化联锁；高温工况可选配套加热模块，常规工况温度适用范围 5~60℃。波纹管为独立可更换配件，无需整体更换阀体，拆装简便，整机符合 RoHS 环保标准，适配洁净车间长期连续运行。

XLA/C-100・160 (-1)-X152 大口径铝制真空 L 型阀，凭借轻量化洁净腔体、高耐久波纹管密封、双向自由排气、大流量通导能力，为大型高真空设备管路通断提供稳定可靠的标准化解决方案，兼顾洁净度、通用性与设备长期运行成本控制。

上一个：铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G