高真空L型阀 XL□C是 SMC 面向泛半导体真空制程推出的铝制气动高真空 L 型角阀，包含 XLAC 波纹管密封单作用常闭、XLCC 波纹管密封双作用、XLFC/O 型圈单作用、XLGC/O 型圈双作用四大细分型号，适配 KF16、KF40 标准真空法兰，广泛用于薄膜沉积、晶圆刻蚀、真空镀膜、精密分析仪器等高真空管路通断管控。

Name: 高真空L型阀 XL□C
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-28

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高真空L型阀 XL□C

●中国制造
●长寿命
●可在高真空领域使用
●轻量化，小型化
●可选择带加热器
●高温150℃通用 (带磁性开关除外)
●磁性开关安装方向自由

高真空L型阀 XL□C是 SMC 面向泛半导体真空制程推出的铝制气动高真空 L 型角阀，包含 XLAC 波纹管密封单作用常闭、XLCC 波纹管密封双作用、XLFC/O 型圈单作用、XLGC/O 型圈双作用四大细分型号，适配 KF16、KF40 标准真空法兰，广泛用于薄膜沉积、晶圆刻蚀、真空镀膜、精密分析仪器等高真空管路通断管控。

阀体主体采用轻量化铝合金材质，外部硬质阳极氧化处理，内部无额外镀层，导热均匀，整体重量远低于不锈钢阀，便于设备机架集成安装。阀体耐氟系腐蚀气体，析出气体量极低，重金属污染风险小，真空腔体不易残留杂质，搭配低放气密封件，可缩短真空泵抽气时长，提升真空腔体作业效率。

密封结构分为两类，波纹管密封款采用 SUS316L 不锈钢一体波纹管，隔绝驱动机构与真空流道，无轴向外泄漏，泄漏率低至 1.3×10⁻¹¹Pa・m³/s，全程无机械摩擦产尘，满足超高洁净真空工艺；O 型圈密封款结构精简、性价比更高，适配通用中高真空工况，标准密封材质为 FKM 氟橡胶，可按需更换耐化学密封材料。

设备采用气动驱动，先导气压适配 0.4~0.7MPa，可选内置电磁阀一体化型号，无需外接先导阀，简化管路布局。支持多种选配功能，加装加热器可实现最高 150℃高温运行，避免工艺气体冷凝沉积；无触点磁性开关可自由调整安装方位，实时反馈阀门开闭信号，对接产线 PLC 自动化管控.。

波纹管组件支持单独更换，无需整体更换阀体，大幅降低长期运维成本。设备工作真空区间覆盖大气压至 1×10⁻⁶Pa，流导性能优异，小体积阀体可实现大流量介质通过，机身紧凑节省真空管路安装空间，同时符合 RoHS 环保规范。

XL□C 系列高真空 L 型阀以轻量化洁净腔体、低泄漏密封方案、高温适配与自动化信号反馈能力，构建半导体、精密真空设备管路通断完整解决方案，稳定保障高真空制程洁净度与设备连续运行可靠性。

上一个：一段式减压阀 KT