温控器 INR-496-001D,INR-496-002D是 SMC INR-496 系列紧凑型水冷式 CO₂天然冷媒温控机组，两款机型结构、温控逻辑、防护体系一致，仅冷却功率区分适配不同负载工况，广泛适配半导体晶圆检测、精密光学设备、实验室微量反应等高洁净工艺。

Name: 温控器 INR-496-001D,INR-496-002D
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-28

厂商性质：代理商

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SMC

SMC工业用过滤器/烧结金属滤芯 SMC高真空元件 SMC工艺气体用元件 SMC温控器 SMC隔膜泵 SMC化学液用阀/管接头&针阀/管子 SMC流体控制元件 SMC手持式泄漏检测仪 SMC静电对策元件/静电消除器 SMC开关/传感器/控制器 SMC协作机器人用气爪 SMC真空元件 SMC压力控制器 SMC摆动气缸/气爪 SMC方向控制阀 SMC压缩空气管理系统 SMC阀岛 SMC气管 SMC接头 SMC液压缸 SMC电气比例阀 SMC增压阀 SMC真空调压阀 SMC电动执行器 SMC减压阀 SMC过滤减压阀 SMC过滤器 SMC电磁阀 SMC气缸
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温控器 INR-496-001D,INR-496-002D是 SMC INR-496 系列紧凑型水冷式 CO₂天然冷媒温控机组，两款机型结构、温控逻辑、防护体系一致，仅冷却功率区分适配不同负载工况，广泛适配半导体晶圆检测、精密光学设备、实验室微量反应等高洁净工艺，采用无氟 R744 二氧化碳冷媒，GWP 值仅 1，豁免欧盟 F-Gas、北美冷媒管控法规，是传统高 GWP 氟利昂温控设备的低碳合规替换方案化工仪器网。

温控器 INR-496-001D,INR-496-002D搭载跨临界高效 CO₂制冷系统，配套独立电加热补偿单元，冷热双向同步调控，温控区间覆盖 - 20℃至 60℃，控温稳定精度可达 ±1℃，搭载工业多段 PID 闭环调控算法，可快速抵消芯片持续产热、洁净厂房环境温差带来的温度波动，稳定氟化循环液温度，有效规避温度漂移造成晶圆检测数据偏差、光学元件热变形、实验反应速率失衡等工艺缺陷CAE。其中 INR-496-001D 适配轻负载小型设备，INR-496-002D 冷却功率更高，匹配中等负载产线工况CAE。

整机循环回路专为半导体高纯介质设计，所有接触介质腔体、管路采用无铜防腐不锈钢材质，杜绝金属离子析出污染晶圆产品；配备耐腐蚀变频循环泵与高精度前置过滤组件，持续截留介质内细微颗粒，长期运行管路不易积垢堵塞。设备采用一体式水冷换热结构，换热效率高，运行不会向无尘车间释放多余热量，机身模块化紧凑型工业设计，可直接匹配产线原有安装位，无需大规模改造产线布局SMC Pneuma...。

机身搭载集成 LCD 数显操作面板，实时展示介质温度、循环流量、机组运行压力与故障代码，温度、多级报警阈值可直观设定；标配 RS485 工业通讯接口，可对接产线 PLC 系统，实现远程参数修改、运行数据存储、故障信号远程上传，适配全自动智能化半导体产线。

整机配备全套高阶安全防护机制，包含介质低液位保护、压缩机高低压过载保护、超温自动停机、冷却水断流保护、低温防冻保护等，设备异常即刻停机告警，保护高价半导体工艺设备。内部滤芯、密封件、循环泵等易损配件拆装便捷，日常仅需定期清洁滤网、更换循环介质，运维成本低廉，可支撑产线 24 小时不间断连续量产。

INR-496-001D、INR-496-002D 依托无氟 CO₂环保冷媒、宽温域精准恒温、洁净防腐循环回路、水冷高效散热、自动化智能联动的核心优势，为不同负载等级的半导体精密工艺提供长效稳定、低碳合规的标准化温控解决方案。

上一个：温控器 INR-495-012