温控器 INR-496-003D属于 SMC INR-496 系列中等功率水冷式 CO₂冷媒循环温控设备，主打无氟低碳、紧凑型机身，面向半导体晶圆探针台、小型薄膜沉积设备、精密光学检测仪器等高洁净生产场景。

Name: 温控器 INR-496-003D
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-28

厂商性质：代理商

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SMC

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温控器 INR-496-003D属于 SMC INR-496 系列中等功率水冷式 CO₂冷媒循环温控设备，主打无氟低碳、紧凑型机身，面向半导体晶圆探针台、小型薄膜沉积设备、精密光学检测仪器等高洁净生产场景。设备采用天然 R744 二氧化碳作为制冷介质，温室效应指数仅为 1，不受欧盟 F-Gas、北美冷媒管控法规约束，可直接替换传统含氟冷媒温控设备，适配出口型半导体产线与绿色无尘工厂。

温控器 INR-496-003D搭载跨临界高效 CO₂制冷系统，搭配独立电加热补偿单元，实现制冷、制热双向连续调控，温控区间覆盖 - 20℃至 60℃，适配低温冷却、中高温恒温多类工艺需求。设备内置工业多段 PID 闭环调控算法，针对芯片持续产热、洁净厂房环境温差等动态负荷，温度响应速度快，控温稳定精度可达 ±1℃，稳定氟化循环液温度，有效避免温度漂移引发的晶圆检测数据偏差、镀膜厚度不均、光学元器件热变形等工艺不良问题。相较同系列 001D、002D 机型，003D 冷却功率更高，适配中等负载半导体工艺设备。

整机介质循环回路适配半导体专用高纯氟化液，所有与介质接触的腔体、管路均采用无铜防腐不锈钢材质，杜绝金属离子析出污染晶圆产品；配备耐腐蚀变频循环泵与高精度前置过滤组件，持续截留介质内部细微颗粒杂质，长期连续运行管路不易积垢、堵塞。设备采用一体式水冷换热结构，换热效率优异，运行过程不会向无尘车间散发热量；机身模块化紧凑型工业造型，安装占用空间小，可匹配产线原有设备安装点位，无需大范围改造产线布局。

机身配备集成 LCD 数显操作面板，可实时查看介质温度、循环流量、机组运行压力及故障代码，温度区间、多级报警阈值可直观快速设定；标配 RS485 工业通讯接口，可对接产线 PLC 控制系统，实现远程参数修改、运行数据存储、故障信号远程上传，适配全自动智能化半导体生产线。

整机搭载全套安全防护体系，包含介质低液位保护、压缩机高低压过载保护、超温自动停机、冷却水断流保护、低温防冻保护等功能，设备出现异常时即刻停机并输出告警信号，保护高价值半导体工艺设备。内部滤芯、密封件、循环泵等易损配件拆装简便，日常仅需定期清洁滤网、更换循环介质，运维成本低廉，可支撑半导体产线 24 小时不间断连续量产。

INR-496-003D 依托无氟 CO₂环保冷媒、中等功率宽温域精准恒温、洁净防腐循环回路、水冷高效散热、自动化智能联动的核心优势，为中等负载半导体精密工艺提供长效稳定、低碳合规的标准化温控解决方案。

上一个：温控器 INR-496-001D,INR-496-002D