温控器 INR-495-012是 SMC INR-495 系列水冷式二氧化碳冷媒循环温控设备，专为半导体晶圆检测、薄膜沉积、精密蚀刻等高洁净工艺打造。设备采用天然 R744 二氧化碳作为制冷介质，不含氟化物，GWP 值仅 1，不受欧盟 F-Gas、北美冷媒管控法规限制，是传统高 GWP 冷媒温控机的低碳合规替代机型，适配外销半导体设备与无尘智能工厂。

Name: 温控器 INR-495-012
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-28

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温控器 INR-495-012是 SMC INR-495 系列水冷式二氧化碳冷媒循环温控设备，专为半导体晶圆检测、薄膜沉积、精密蚀刻等高洁净工艺打造。设备采用天然 R744 二氧化碳作为制冷介质，不含氟化物，GWP 值仅 1，不受欧盟 F-Gas、北美冷媒管控法规限制，是传统高 GWP 冷媒温控机的低碳合规替代机型，适配外销半导体设备与无尘智能工厂。

温控器 INR-495-012搭载跨临界高效 CO₂制冷系统，搭配独立电加热补偿单元，实现冷热双向调节，温控区间覆盖 - 20℃至 70℃，可兼顾低温冷却与高温恒温多类型工艺。设备搭载工业多段 PID 闭环调控算法，针对芯片持续产热、洁净厂房环境温差等动态负载，温度响应快速，控温稳定精度可达 ±1℃，稳定氟化循环液温度，避免温度漂移造成晶圆检测数据偏差、镀膜厚度不均、等离子刻蚀速率失衡等工艺不良。

整机循环回路适配半导体专用氟化液，所有介质接触腔体、管路采用无铜防腐不锈钢材质，杜绝金属离子析出污染晶圆产品；配备耐腐蚀循环泵与高精度前置过滤组件，持续截留介质内细微颗粒，长期运行管路不易积垢堵塞。设备采用一体式水冷换热结构，换热效率高，运行不向无尘车间散发热量，机身紧凑型标准化结构，可匹配产线原有安装位，无需大规模改造产线布局。

机身搭载集成数显操作面板，实时展示介质温度、循环流量、机组运行压力与故障代码，温度、多级报警阈值可直观设定；标配 RS485 工业通讯接口，可对接产线 PLC 系统，实现远程参数修改、运行数据存储、故障信号远程上传，适配全自动智能化半导体产线。

整机配备全套高阶安全防护机制，包含介质低液位保护、压缩机高低压过载保护、超温自动停机、冷却水断流保护、低温防冻保护等，设备异常即刻停机告警，保护高价半导体工艺设备。内部滤芯、密封件、循环泵等易损配件拆装便捷，日常仅需定期清洁滤网、更换循环介质，运维成本低廉，可支撑产线 24 小时不间断连续量产。

INR-495-012 依托无氟 CO₂环保冷媒、宽温域精准恒温、洁净防腐循环回路、水冷高效散热、自动化智能联动的核心优势，为半导体精密工艺提供长效稳定、低碳合规的标准化温控解决方案。

上一个：温控器 INR-495-017