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温控器 INR-495-017是 SMC 面向半导体精密工艺推出的 CO₂天然冷媒水冷式循环温控器，整机采用 R744 二氧化碳无氟冷媒，温室效应指数趋近于 1，不受欧盟 F-Gas、北美冷媒管控条例约束，是传统氟利昂制冷设备的低碳替换产品，广泛适配晶圆探针测试、薄膜沉积、精密蚀刻等无尘产线工况。
温控器 INR-495-017搭载高效跨临界 CO₂制冷系统，搭配独立电加热补偿单元，可实现冷热双向精准调控，温控区间覆盖 - 20℃至 70℃，适配高低温复合型半导体工艺。设备搭载工业专用多段 PID 调控算法，面对芯片持续发热、车间环境温度波动等动态负载，温度响应速度快，控温稳定精度可达 ±1℃，能够稳定氟化循环液温度，有效解决温度漂移引发的检测数据偏差、镀膜厚度不均、刻蚀速率不稳定等生产缺陷。
设备循环回路专为半导体高纯介质设计，所有与介质接触的管路、腔体均采用无铜防腐不锈钢材质，杜绝金属离子析出污染晶圆。内置耐腐蚀大流量循环泵与高精度前置过滤器，持续截留介质内微小颗粒杂质，长期运行管路不易积垢、堵塞，保障循环介质洁净度。整机采用一体式水冷换热结构，换热效率高，运行过程不会向洁净车间释放多余热量，机身紧凑型标准化设计，可直接匹配产线原有设备安装位置，无需大幅改造产线布局。
机身配备集成数字操作面板，可实时显示介质温度、循环流量、机组运行压力与故障代码，温度参数、多级报警阈值可快速自定义设置；标配 RS485 工业通讯接口，可对接产线 PLC 控制系统，实现远程参数调整、运行数据存储、故障信号远程上传，适配全自动智能化半导体生产线。
整机搭载全套安全防护体系，包含介质低液位保护、压缩机高低压过载保护、超温自动停机、冷却水断流保护、低温防冻保护等功能，设备出现异常时立即停机并输出告警信号，保护高价半导体工艺设备。内部滤芯、密封件、循环泵等易损配件拆装简单，日常仅需定期清洁滤网、更换循环介质，运维成本低廉，可支持半导体产线 24 小时不间断连续量产。
INR-495-017 依托无氟 CO₂环保冷媒、宽温域精准恒温、洁净防腐循环回路、水冷高效散热、自动化智能联动的核心优势，为半导体精密加工工艺提供长效稳定、低碳合规的标准化温控解决方案。
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