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温控器 INR-498-012E为 SMC 大功率水冷 CO₂冷媒循环温控设备，归属于 INR-498 系列，主打低碳环保与高负载恒温管控，面向半导体等离子刻蚀、薄膜沉积、晶圆探针测试等洁净工艺打造。设备采用天然 R744 二氧化碳作为制冷介质，无含氟成分，GWP 数值趋近于 1，规避欧盟 F-Gas 等全球冷媒管控法规限制，是传统高 GWP 冷媒温控设备的理想替换机型。
温控器 INR-498-012E搭载跨临界高效 CO₂制冷系统，配套独立大功率电加热补偿模块，额定冷却功率 12kW，温控区间覆盖 - 20℃至 70℃，适配高低温多工艺需求。内置工业多段 PID 闭环调控程序，动态热负荷下温度响应迅速，温度稳定精度可达 ±1℃，能够快速抵消芯片持续产热、洁净厂房环境温差带来的温度偏移，稳定氟化液循环温度，避免晶圆检测数据偏差、薄膜镀膜厚度不均、刻蚀速率失衡等工艺不良问题。
整机介质循环管路专为半导体氟化液设计，所有接触介质腔体、管道均采用无铜防腐不锈钢材质，杜绝金属离子析出污染晶圆产品；配备大流量耐腐蚀循环泵与高精度前置过滤组件，持续过滤介质内部细微杂质，长期运行管路不易积垢堵塞。设备采用一体化水冷换热结构，换热效率优异，运行过程不会向无尘车间散发热量，机身标准化紧凑型工业造型，可直接匹配原有产线安装空间，无需大范围改造产线布局。
机身配备集成高清数显操作面板，可实时监测介质温度、循环流量、机组运行压力及故障代码，温度区间、多级报警阈值均可直观设定；标配 RS485 工业通讯接口，可对接产线 PLC 系统，实现远程参数调节、运行数据存储、故障信号远程上传，适配全自动智能化半导体生产线。
设备搭载全套高阶安全防护机制，包含介质低液位保护、压缩机高低压过载保护、超温自动停机、冷却水断流保护、低温防冻保护等，出现故障立即停机告警，全面保护昂贵半导体工艺设备。内部滤芯、密封件、循环泵等易损配件拆装便捷，日常仅需定期清洁滤网、更换循环介质，运维成本低，可支撑产线 24 小时不间断连续量产。
INR-498-012E 凭借 CO₂无氟环保冷媒、12kW 大功率宽温域精准控温、洁净防腐循环回路、水冷高效散热、自动化智能联动的核心优势，为半导体高负载精密工艺提供长效稳定、合规低碳的标准化温控解决方案。
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