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11 代表高等级洁净低发尘专用系列,出厂经过高纯干燥空气吹扫、低析出管控,防静电密封包装,适配洁净室与真空共存工况;MSQA 为 MSQ 系列高精度型回转摆台;10 代表规格尺寸 10;A 代表两端带角度调节螺钉,内置磁环,可加装磁性开关实现旋转位置检测,属于齿轮齿条式回转执行元件,负载可直接安装在旋转平台端面。
规格 10,最大摆动角度 0~190°,可通过调节螺钉限定旋转区间;接管规格 M5;工作压力 0.1~0.7MPa,耐压 1.05MPa;适用介质为洁净干燥压缩空气,无油润滑设计;使用温度 - 10~60℃;回转重复定位精度高,平台端面跳动极小;密封件、润滑介质采用低粉尘低析出配方,无铜无硅设计,控制微粒与有机挥发物释放;内置磁环,支持选配磁性开关采集旋转到位信号。
SMC 11-MSQA10A 齿轮齿条摆台旋转气缸齿轮齿条传动结构,运转平稳,高精度版本回转间隙小,定位一致性好;一体式旋转平台结构,负载直接锁固在台面,对中装配简单;两端配置角度调节螺栓,可按需限定左右旋转终点,灵活设置 90°、180° 等常用回转行程;内部配备重载滚动轴承,承载能力强,径向窜动微小;平台表面平整光滑,不易积尘,洁净规格对滑动部位做抑析出处理,旋转动作时粉尘释放量低;支持侧面或者端面两种配管方式,布局灵活;本体侧面预留磁性开关安装槽,开关嵌入式安装,不干涉外围治具。
SMC 11-MSQA10A 齿轮齿条摆台旋转气缸多用于半导体晶圆搬运、光学镜片翻转、微型真空治具旋转工位、医疗精密装配设备、锂电洁净微工位,常搭配 11 系列洁净电磁阀、洁净接头、微型节流阀、真空过滤器配套使用,完成工件旋转换向、翻面、分度、角度定位等精密回转动作,是洁净自动化设备里常用的高精度旋转执行元件。
气源前端配置精密过滤器、油雾分离器,保证气源干燥无尘无油,硬质颗粒会加速齿轮、轴承磨损并增加发尘;调节旋转角度时缓慢微调限位螺钉,避免硬撞击;安装基准面保证平面度,防止轴承偏载、卡顿、异常发尘;气管切口平整无毛刺,避免碎屑进入腔体;不可通入腐蚀性气体、有机溶剂蒸汽;定期检查旋转台面、密封位置有无漏气、异响;闲置气口做好封堵;存放于干燥防静电环境,远离油污、粉尘以及化学品。
11-MSQA10A-A90
11-MSQA10A-A93L
11-MSQA10A-F9B
11-MSQA10A-M9B
11-MSQA10R
11-MSQA1A
11-MSQA20A
11-MSQA20R-M9B
11-MSQA3A
11-MSQA7A-M9NLS
11-MSQB10A
11-MSQB10A-A93
11-MSQB10RM9BVL
11-MSQB1A-M9BL
11-MSQB20A
11-MSQB20R
11-MSQB20RXX118
11-MSQB2A
11-MSQB30R
11-MSQB3A
11-MSQB50A
11-MSQB50R
11-MSQB50R-F9B
11-MSQB50R-M9B
11-MSQB7A
11-MXJ4-10CP
11-MXJ4-5
11-MXJ4-5N
11-MXJ4L-10
11-MXJ4L-5P
11-MXJ6-10
11-MXJ6-15CP
11-MXJ6-15CS
11-MXJ6-5
11-MXJ6L10PM9BL
11-MXJ6L-15CP
11-MXJ6L-5
11-MXJ6L-5-F8N
11-MXJ8-10-A93
11-MXJ8-10-A93L
11-MXJ8-10-M9B
11-MXJ8-20
11-MXJ8-20-A93
11-MXJ8-20-A93L
11-MXJ8-20-M9B
11-MXJ8-20-M9NV
11-MXJ8-20M9NVL
11-MXJ8-5CS-M9N
11-MXJ8L-10-M9B