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SMC 11-CXSL6-10-Z73S Class3 双联双杆气缸
产品简介

SMC 11-CXSL6-10-Z73S Class3 双联双杆气缸多用于半导体晶圆检测、光学镜片组装、微型真空取料治具、医疗精密检测仪器、锂电高洁净微工位,常搭配 11 系列洁净电磁阀、洁净快插接头、微型节流阀、真空过滤器配套使用,完成轻载工件平移、定位、夹紧、分选等精密直线动作,是洁净自动化精密搬运常用导向执行元件。

产品型号:
更新时间:2026-10-22
厂商性质:代理商
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型号释义

11 代表 ISO Class3 高等级洁净真空吸引规格,出厂高纯吹扫、低析出管控,防静电密封包装,适配真空腔体洁净工况;CXSL 为 CXS 系列双杆气缸,L 代表滚珠衬套轴承导向;6 为缸径 6mm;10 代表行程 10mm;Z73S 为固态磁性开关型号,开关预装于缸体,引线侧出线,自带位置信号反馈功能,双作用结构,导向精度高、防旋转性能优异。

技术参数

缸径 6mm,行程 10mm,双杆双作用;工作压力 0.15~0.7MPa,耐压 1.05MPa;接管螺纹 M5;适用介质洁净干燥压缩空气,无油润滑;使用温度 - 10~60℃;活塞运行速度 30~300mm/s;两端橡胶垫缓冲;密封件采用低析出氟橡胶,滑动部位使用氟系润滑脂,无铜无硅配方,严控微粒、有机挥发物释放;自带 Z73S 固态磁性开关,DC24V 供电,输出到位信号。

结构特点

SMC 11-CXSL6-10-Z73S Class3 双联双杆气缸平行双杆一体结构,自带滚珠衬套导向,抗扭转能力强,回转精度 ±0.1°,负载运行不偏转;滚珠轴承摩擦顺滑,动作稳定,适合精密取放;缸体紧凑小巧,节省设备内部安装空间,支持多方向安装固定;两端内置橡胶缓冲垫,降低往复冲击与震动噪音;真空吸引洁净规格,滑动部位特殊防尘抑析出处理,动作时粉尘释放极低,避免污染腔体内工件;磁性开关嵌入缸体槽内,不突出干涉周边结构,预装开关简化现场装配工序。

应用场景

SMC 11-CXSL6-10-Z73S Class3 双联双杆气缸多用于半导体晶圆检测、光学镜片组装、微型真空取料治具、医疗精密检测仪器、锂电高洁净微工位,常搭配 11 系列洁净电磁阀、洁净快插接头、微型节流阀、真空过滤器配套使用,完成轻载工件平移、定位、夹紧、分选等精密直线动作,是洁净自动化精密搬运常用导向执行元件。

使用注意事项

气源前端配置精密过滤器、油雾分离器,保证气源干燥无尘无油,硬质颗粒容易划伤轴承与密封件;安装基准面平整度控制在 0.05mm 以内,防止导向卡死、异常发尘;气管切口平整无毛刺,避免碎屑进入气缸;不可通入腐蚀性气体、有机溶剂蒸汽;定期检查活塞杆表面、密封位置有无漏气、刮伤;闲置气口做好封堵;存放于干燥防静电环境,远离油污、粉尘与化学品。


11-CXSL6-20

11-CXSL6-20Y59A

11-CXSL6-40

11-CXSM1020Y59A

11-CXSM6-10

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11-CXSM6-30

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11LEFSH25A100R3

11LEFSH25A250R3

11LEFSH25B100BR

11LEFSH25B300S5

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11-MDHR2-20R

11MDHR220RM9N61

11-MDHR3-10R

11-MDHR3-15R

11-MDHR3-15RM9B

11-MDHR315RM9BL

11-MHL2-10D

11-MHL2-10D-X50

11-MHL210DY69AL

11-MHL210DY69BL

11-MHL2-16D

11-MHL2-16D1

11MHL216D1Y59AL

11-MHL216DY59AL

11-MHL216DY69BL

11MHL216DY69BL3

11-MHL2-32DY59A

11-MHR2-10R

11-MHR2-15R

11-MHZ2-10D

11-MHZ2-10D2

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11-MHZ2-10DM9NL

11-MHZ210DM9NVL

11-MHZ2-16D

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11-MHZ2-16DM9BV

11-MHZ216DM9NVL

11-MHZ2-16DN

11-MHZ2-20D

11-MHZ2-20D3

11-MHZ220D3M9NL

11-MHZ2-25D

11-MHZ2-25DN

11-MSBQ20A


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