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11 代表 ISO Class3 高等级洁净真空吸引规格,出厂高纯吹扫、低析出管控,防静电密封包装,适配真空腔体洁净工况;CXSL 为 CXS 系列双杆气缸,L 代表滚珠衬套轴承导向;6 为缸径 6mm;10 代表行程 10mm;Z73S 为固态磁性开关型号,开关预装于缸体,引线侧出线,自带位置信号反馈功能,双作用结构,导向精度高、防旋转性能优异。
缸径 6mm,行程 10mm,双杆双作用;工作压力 0.15~0.7MPa,耐压 1.05MPa;接管螺纹 M5;适用介质洁净干燥压缩空气,无油润滑;使用温度 - 10~60℃;活塞运行速度 30~300mm/s;两端橡胶垫缓冲;密封件采用低析出氟橡胶,滑动部位使用氟系润滑脂,无铜无硅配方,严控微粒、有机挥发物释放;自带 Z73S 固态磁性开关,DC24V 供电,输出到位信号。
SMC 11-CXSL6-10-Z73S Class3 双联双杆气缸平行双杆一体结构,自带滚珠衬套导向,抗扭转能力强,回转精度 ±0.1°,负载运行不偏转;滚珠轴承摩擦顺滑,动作稳定,适合精密取放;缸体紧凑小巧,节省设备内部安装空间,支持多方向安装固定;两端内置橡胶缓冲垫,降低往复冲击与震动噪音;真空吸引洁净规格,滑动部位特殊防尘抑析出处理,动作时粉尘释放极低,避免污染腔体内工件;磁性开关嵌入缸体槽内,不突出干涉周边结构,预装开关简化现场装配工序。
SMC 11-CXSL6-10-Z73S Class3 双联双杆气缸多用于半导体晶圆检测、光学镜片组装、微型真空取料治具、医疗精密检测仪器、锂电高洁净微工位,常搭配 11 系列洁净电磁阀、洁净快插接头、微型节流阀、真空过滤器配套使用,完成轻载工件平移、定位、夹紧、分选等精密直线动作,是洁净自动化精密搬运常用导向执行元件。
气源前端配置精密过滤器、油雾分离器,保证气源干燥无尘无油,硬质颗粒容易划伤轴承与密封件;安装基准面平整度控制在 0.05mm 以内,防止导向卡死、异常发尘;气管切口平整无毛刺,避免碎屑进入气缸;不可通入腐蚀性气体、有机溶剂蒸汽;定期检查活塞杆表面、密封位置有无漏气、刮伤;闲置气口做好封堵;存放于干燥防静电环境,远离油污、粉尘与化学品。
11-CXSL6-20
11-CXSL6-20Y59A
11-CXSL6-40
11-CXSM1020Y59A
11-CXSM6-10
11-CXSM6-20Y59B
11-CXSM6-30
11-CXSM6-50
11LEFS32A250R3A
11LEFSH25A100R3
11LEFSH25A250R3
11LEFSH25B100BR
11LEFSH25B300S5
11-MDHR210RM9BL
11-MDHR2-20R
11MDHR220RM9N61
11-MDHR3-10R
11-MDHR3-15R
11-MDHR3-15RM9B
11-MDHR315RM9BL
11-MHL2-10D
11-MHL2-10D-X50
11-MHL210DY69AL
11-MHL210DY69BL
11-MHL2-16D
11-MHL2-16D1
11MHL216D1Y59AL
11-MHL216DY59AL
11-MHL216DY69BL
11MHL216DY69BL3
11-MHL2-32DY59A
11-MHR2-10R
11-MHR2-15R
11-MHZ2-10D
11-MHZ2-10D2
11-MHZ2-10D-M9N
11-MHZ2-10DM9NL
11-MHZ210DM9NVL
11-MHZ2-16D
11-MHZ2-16D2
11-MHZ2-16DM9BV
11-MHZ216DM9NVL
11-MHZ2-16DN
11-MHZ2-20D
11-MHZ2-20D3
11-MHZ220D3M9NL
11-MHZ2-25D
11-MHZ2-25DN
11-MSBQ20A