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SMC CS200-26-4745-470 气体质量流量控制器为 CS200 系列数字式热型气体质量流量控制器，是精密工艺气体流量测控核心装置，多用于半导体制造、真空镀膜、光伏生产、实验室气体配比、化工微量供气等行业，能够直接对气体质量流量实施高精度测量与闭环控制，测量结果不受气体温度、压力波动影响，保障工艺过程稳定。型号编码中 CS200 代表产品系列，26 为对应气体介质代码，4745 代表流量量程规格，470 代表阀体、密封材质与接口配置。
SMC CS200-26-4745-470 气体质量流量控制器采用热式传感原理，以气体质量作为检测基准，无需额外温压补偿。内置精密控制电磁阀，接收上位机设定信号，快速完成流量调节，动态响应灵敏，流量重复性优异，有效规避流量漂移造成的工艺偏差。整机采用传感器与阀体一体化紧凑设计，减小管路死体积，降低气体残留、微粒滞留风险，适配洁净工艺管路系统。核心传感元件搭载多点温度补偿算法，可在常规工业环境下稳定作业，适配氮气、氩气、氧气等多种工艺气体。
产品兼具数字通讯与模拟信号接口，可接入工控系统，上位机能够远程下发流量设定值，实时读取实际流量、设备运行状态，同时内置故障自检模块，可监测超量程、进出口压力异常、阀门故障等异常工况，及时输出报警信号，提升整套供气系统运行可靠性。流路内部做抛光处理，阀体密封件耐化学腐蚀，整机泄漏率极低，满足洁净车间的高密封要求。标准管路接口设计，拆装更换方便，现场可完成参数校准微调，长期运行漂移小，维护周期长，降低后期运维投入。
CS200-26-4745-470 可集成在多路配气系统中，实现多种气体混合配比、恒定流量输送。在薄膜沉积、等离子刻蚀、新材料研发、气相分析等工序中，持续稳定控制工艺气体供给，保证批次生产的一致性。这款质量流量控制器兼顾高精度、高洁净度与便捷集成特性，是精密气体流量控制场景的优选设备，有效助力稳定工艺输出，提升产品良率，广泛应用于各类对气体流量控制精度要求严苛的自动化产线与科研实验平台。
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