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SMC CS200-26-5620-050 质量流量控制器属于 CS200 系列数字型气体质量流量控制器，是精密流体测控核心设备，广泛应用于半导体、真空镀膜、实验室气相分析、化工配气等场景，可精准计量与控制各类工艺气体的质量流量，不受温度、压力波动干扰，保障工艺参数稳定可控。型号编码中 CS200 代表产品系列，26 为气体介质代码，5620 代表满量程流量规格，050 代表配套阀组与接口配置，适配高精度微量供气控制需求。
SMC CS200-26-5620-050 质量流量控制器采用热式质量流量传感原理，直接检测气体质量流量，区别于体积流量测量，无需温压补偿即可输出稳定读数。工作压力适用区间宽泛，支持低压工况稳定运行，内置高精度电磁阀，可接收模拟或数字信号闭环调节，快速响应流量设定值，动态调节响应速度快，流量控制重复性好，有效杜绝工艺气体流量漂移带来的产品品质波动。主体结构紧凑，阀体与传感器一体化集成，减少管路死体积，降低气体滞留污染风险。
传感器核心元件经过温度补偿校准，可在 0~50℃环境稳定工作，适配洁净干燥的氮气、氩气、氧气等多种惰性与工艺气体。设备具备双向通讯功能，支持上位机远程读写参数，实时回传流量实测值、报警状态，方便自动化产线集成。自带故障诊断功能，可识别超量程、压力异常、阀门故障等状态，及时输出报警信号，提升设备运行安全性。
设备接口采用标准密封连接，拆装便捷，密封性能优异，泄漏率低，满足高洁净工艺管路要求。内部流路经过抛光处理，耐腐蚀，不易吸附微粒，适配半导体、光伏等洁净车间使用。支持现场标定与参数微调，长期使用漂移量小，维护周期长，降低运维成本。
CS200-26-5620-050 作为精密配气元器件，可集成于自动化气体供给系统，实现多路气体配比、流量恒定控制，是薄膜沉积、刻蚀、材料研发、气体分析领域的关键测控设备。凭借高精度、高稳定性、易集成的优势，成为精密气体流量控制场景的优选产品，能够持续保障工艺气体供给的一致性，提升产品良率。
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