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洁净型减压阀SRH
产品简介

洁净型减压阀SRH为高纯度洁净型减压阀,专为对气源洁净度、材质析出管控严苛的工况开发,可用于洁净压缩空气、氮气、氩气乃至纯水介质的压力调节,广泛应用于半导体晶圆设备、生物医药、食品加工、精密分析仪器等高等级洁净车间。

产品型号:
更新时间:2026-08-19
厂商性质:代理商
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洁净型减压阀SRH
●抗污染的不锈钢规格的减压阀
●禁油
●2种隔膜材质:PTFE、氟橡胶


洁净型减压阀SRH为高纯度洁净型减压阀,专为对气源洁净度、材质析出管控严苛的工况开发,可用于洁净压缩空气、氮气、氩气乃至纯水介质的压力调节,广泛应用于半导体晶圆设备、生物医药、食品加工、精密分析仪器等高等级洁净车间。产品在 Class100 洁净环境完成清洗、组装与检测,双层密封包装,开箱即可投入洁净回路使用,区别于常规工业减压阀,实现禁油无析出设计,避免油脂、微粒污染工艺介质。
阀体接触流体部位采用 SUS316L 不锈钢材质,流道低滞留,减少介质残留与颗粒析出。膜片可选用 PTFE 或氟橡胶两种材质,适配不同介质与耐腐蚀需求,具备优异气密性与耐化学性能。分为溢流型与非溢流型两种结构,低压规格调节区间 0.02‑0.2MPa,高压规格 0.05‑0.7MPa,最高使用压力 1.0MPa,保证耐压力 1.5MPa,覆盖微压至中压多种工艺需求。
内部采用精密压力反馈调压机构,依靠高灵敏膜片感应输出压力,自动补偿上游压力与流量波动,输出压力稳定,抑制压力脉动。调压手轮可锁紧,防止设备振动造成压力漂移,预留压力表接口,可外接压力表直观读取输出压力,便于现场工艺整定调试。
产品具备 A、B 两种洁净等级,A 级适用于高纯气体、纯水等高要求场景,B 级用于普通洁净气体工况,接管口径规格丰富,支持 Rc 螺纹与 URJF 金属密封接头,适配多种洁净管路配管需求。本体只具备调压稳压功能,无过滤能力,上游建议配置洁净过滤器,防止杂质进入阀内造成阀芯损伤。工作温度‑5~60℃,介质不可冻结。整体耐腐蚀、低发尘,可独立安装使用,是高纯流体回路中实现无污染精密压力控制的核心调压元件。


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