真空减压阀 10-IRV
●用于·可调整真空管路压力
●一面配管规格系列
●质量削减20% (和以前带IRV20接头的IRV2000相比)
●内置快换接头
●附件夹子使压力计或数字式压力开关容易安装/拆卸
●压力计或数字式压力开关的安装方向可更改(只限标准配管规格)
●压力计或数字式压力开关的安装角度(每60°有一个安装位置)变更容易
真空减压阀 10-IRV为洁净型真空减压阀，专门用于真空回路的负压精密调节，能够稳定控制真空侧负压大小，广泛应用于半导体、电子元器件吸附搬运、薄膜加工、精密检测等真空吸附工艺场景，可实现负压的精细整定，适配洁净车间环境，支持模块化与面板式多种安装形式。
真空减压阀 10-IRV采用铝合金轻量化本体，针对真空工况优化内部阀组结构，区别于普通正压减压阀，该元件对负压进行闭环调节，调压灵敏度高，重复控制精度优异，可有效抵消真空源压力波动、管路泄漏带来的负压漂移，维持吸附端真空度稳定，避免工件吸附过紧压伤或吸力不足掉落。调压手轮微调齿距细密，调节手感平顺，调试完成后可锁紧固定，防止设备振动造成真空度偏移，预留压力表接口，可外接真空表直观读取负压数值，方便现场工艺调试与状态监控。
供给侧最高真空可达‑101kPa，具备多档调节量程，可适配不同吸力需求的工艺，保证耐压力 1.5MPa，工作温度‑5～60℃，介质不可出现凝露结冰。产品仅实现真空压力调节，不具备过滤功能，实际使用前端建议配置真空过滤器，阻挡粉尘碎屑进入阀体，防止阀芯卡滞，延长使用寿命。支持托架壁挂安装，也支持面板嵌入安装，适配设备面板集成布局，拆装维护简单。
10‑IRV 属于低析出洁净规格，无铜无氟无硅，低气体析出、低发尘，满足半导体行业严苛的材质管控标准，适用于高等级洁净室。可独立装配，也可与同系列真空气源元件组合使用。通过稳定控制回路真空负压，保障吸附取放工艺的一致性，降低工件压损、脱落等不良风险，是精密真空吸附系统中实现负压精准控制的核心调压元件。
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