精密洁净型减压阀SRP
●高精度·流量消耗低的不锈钢减压阀
●抽气量在0.5L/min(ANR)以下(出口压力:0.2MPa时)
●设定灵敏度:0.3%F.S.
●重复精度:1%F.S.
精密洁净型减压阀SRP为高精度低耗气不锈钢精密洁净减压阀,专为半导体、光电、生物医药等高等级洁净工况设计,可用于洁净压缩空气、氮气等高纯气体的微压精密调节,在万级洁净室内完成清洗、装配与检测,采用双重密封包装,开箱即可投入洁净回路,有效避免油脂、微粒对工艺介质造成二次污染。
产品接液金属部件全部采用 SUS316 不锈钢,内部无油脂润滑,所有流体接触零部件均经过脱脂清洗,流道优化无滞留死角,耐腐蚀性优异,低析出低发尘,满足洁净车间严苛材质管控标准。调压机构搭载高灵敏度洁净膜片,设定灵敏度可达 0.3% F.S.,重复精度 1% F.S.,可敏锐捕捉管路微小压力变化,动态补偿上游压力与流量波动,输出压力稳定平稳,支持微压精细整定;常泄耗气量控制在 0.5L/min(ANR)以下,相较普通精密减压阀有效降低气体损耗。
调压手轮调节细腻,调试完成后可锁紧,规避设备振动引发压力漂移,预留压力表接口,方便现场直观监控输出压力。分为低压 0.005‑0.2MPa 与高压 0.01‑0.4MPa 两种调节量程,接管支持 M5、Rc1/8,最高供给压力 1.0MPa,保证耐压力 1.5MPa,工作温度‑5~60℃,介质不可冻结。
本体仅具备调压稳压功能,无过滤能力,上游建议搭配洁净过滤器,防止杂质损伤阀芯。支持托架壁挂安装,装配维护便捷。该产品兼顾超高洁净等级与精密调压性能,可独立使用,也可与洁净过滤器等元件组合气源单元,保障吹气、喷涂、精密检测等工艺压力一致性,是高纯洁净气动回路中实现微压精准控制的核心调压元件。