回吸阀单元型 LVA33U-02-X18为 SMC 单元型化学药液回吸阀，集成药液切断与负压回吸双重功能，面向半导体、光伏、精密清洗设备高纯腐蚀药液输送场景，解决阀门关断后滴液、药液残留污染工件的行业难题。

Name: 回吸阀 单元型 LVA33U-02-X18
Brand: SMC/日本
Availability: InStock

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更新时间：2026-07-23

厂商性质：代理商

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回吸阀单元型 LVA33U-02-X18

●LVA30 尺寸的回抽阀单元
●阀体材质/隔膜材质：PTFE
●接管口径：Rc1/4

回吸阀单元型 LVA33U-02-X18为 SMC 单元型化学药液回吸阀，集成药液切断与负压回吸双重功能，面向半导体、光伏、精密清洗设备高纯腐蚀药液输送场景，解决阀门关断后滴液、药液残留污染工件的行业难题。

阀体过流接触面全部采用高纯 PFA 氟树脂加工而成，化学惰性优异，可耐受强酸、强碱、各类有机溶剂，无金属离子析出、无微粒脱落，匹配高洁净制程要求。内部流道、内壁镜面抛光，药液排空顺畅，不会产生介质滞留、结晶堵塞管路，大幅降低设备维护频次。

产品核心为一体化单元回吸结构，内部集成主切断隔膜与负压回吸流道，单阀体即可实现两道工序动作。正常供液时先导气驱动主隔膜开启，稳定输送化学药液；设备停止供液、阀门关闭瞬间，回吸流道同步产生微量负压，将管路末端残留药液向内回抽，杜绝滴液污染晶圆、工件，保障产品良率。

整机采用气控隔膜驱动，流体与气动驱动部件隔绝，药液不会腐蚀先导气路配件；无内置电磁线圈，可长期在高化学雾气、高湿度工况稳定运行，规避电气腐蚀短路故障。适配介质压力 0~0.5MPa，介质使用温度 0~60℃，先导气源压力 0.3~0.7MPa。

单元独立式设计无需搭配复杂集成模块，可单独固定安装，也可多阀组合集装板集中排布，02 规格标准扩口接口适配氟树脂高纯管路，拆装便捷且密封可反复使用。隔膜软密封关断泄漏极低，回吸动作响应迅速，百万次启闭循环耐久稳定。

LVA33U-02-X18 单元型回吸阀，为高纯化学药液供液防滴漏提供一体化集成解决方案，通过关断同步回吸消除药液滴落隐患，稳定提升精密电子制程良品率。

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回吸阀 单元型 LVA33U-02-X18为 SMC 单元型化学药液回吸阀，集成药液切断与负压回吸双重功能，面向半导体、光伏、精密清洗设备高纯腐蚀药液输送场景，解决阀门关断后滴液、药液残留污染工件的行业难题。