产品简介

相关文章Related Articles
化学液用气控阀 LVA*1-X54是 SMC 专为高纯化学药液输送打造的气控式二通隔膜阀,依托全氟树脂过流结构与流道设计,适配半导体、光伏、实验室设备中强酸、强碱、有机溶剂、超纯水等腐蚀性洁净介质通断控制,是精密化学流体管路的核心控制阀件。
介质接触部位全部采用高纯 PFA 氟树脂一体成型,材料化学惰性很强,不会与各类强腐蚀药液发生反应,无金属离子析出、无颗粒物脱落,满足晶圆制程、精密清洗等高洁净度生产标准。阀体内流道圆滑过渡,无凹陷、无滞留死角,药液排空,避免不同化学液体交叉污染,降低制程报废风险。
产品采用隔膜式密封结构,依靠气控先导气源推动氟树脂隔膜完成启闭,流体与驱动气动部件隔离,药液不会渗漏至驱动侧,有效保护先导气路配件不受腐蚀损坏。整机无内置电磁线圈,依靠外部 0.3~0.7MPa 洁净压缩空气驱动,无电气发热部件,适配潮湿、多化学雾气的严苛工况,杜绝电路腐蚀短路故障。
标准介质工作压力 0~0.5MPa,介质适用温度 0~60℃,适配常温化学药液输送;阀体结构小巧紧凑,支持单阀独立安装,也可多阀搭配专用集装板集成排布,大幅简化多路药液管路配管布局,减少接头渗漏隐患。阀体进出口采用标准氟树脂扩口接口,适配高纯氟塑料管,拆装可重复使用,密封性能稳定。
隔膜密封关断泄漏量极低,往复启闭耐久循环次数高,长期输送腐蚀药液不易出现密封溶胀、破损问题,配套阀体耐腐蚀外壳,可抵御外部化学雾气侵蚀。
LVA*1-X54 化学液专用气控隔膜阀,为高纯腐蚀药液输送提供高洁净耐腐蚀控制解决方案,隔离药液与气动驱动结构,保障精密化工、电子制程长期稳定运行。