SMC洁净/低发尘_第(4)页-上海仕臻工业自动化设备有限公司

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压力传感器 10-PSE530
压力传感器 10-PSE530为洁净规格分离型压力传感器，传感器本体与控制器分开设计，额定检测范围 0‑1MPa 正压，面向半导体、精密自动化洁净产线开发，流体接触部位采用不锈钢材质，低发尘结构，满足 ISO 洁净等级 4 要求，符合 RoHS、CE 相关规范，可用于洁净车间气压采集监测。

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2026-08-20

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数字压力开关 10-ZSE20□(F)/10-ISE20□
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2026-08-20

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低速控制用双向速度控制阀 10-ASD-FM
低速控制用双向速度控制阀 10-ASD-FM，是专为气缸双向低速平稳运动开发的气动调速元件，集成两组精密节流针阀与单向阀，可对气缸伸出、缩回两个方向分别独立调节流量，实现双向低速控制，有效改善低速工况下爬行、抖动现象。

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低速控制用速度控制阀 10-AS-FM
低速控制用速度控制阀 10-AS-FM，是面向洁净自动化场景开发的专用气动调速元件，集成精密节流针阀与单向阀结构，支持进气节流、排气节流两种控制方式，重点针对气缸低速动作工况优化，解决低速下抖动、爬行现象，多用于半导体设备、精密检测机构、微小气缸驱动等对运动平稳性要求严苛的场合。

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洁净型速度控制阀 AS-FPQ/FPG为洁净室专用带快换接头速度控制阀，集成节流针阀与单向阀结构，支持进气节流、排气节流两种控制模式，用于精准调节气缸运动速度，广泛应用于半导体、精密电子组装等对微粒析出管控严格的自动化产线。

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金属阀体速度控制阀 10-AS
金属阀体速度控制阀 10-AS是面向洁净工况开发的气动流量调节元件，采用金属阀体结构，集成单向阀与节流针阀，实现进气节流与排气节流控制，用于精准调节气缸运动速度，广泛适配半导体、精密自动化设备等对洁净度要求较高的产线场景。

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