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50 代表低析出洁净定制版本，出厂高纯吹扫、微粒管控严格，适配半导体、光学、锂电、医疗洁净制程；VFE5320 属于 VFE5000 系列先导五通金属密封电磁阀；3 代表三位中封机能；2 代表底板插入配管；0 代表先导独立排气；5 代表线圈 DC24V；T 代表直接端子接线；D 代表锁定式手动操作按钮；02 代表接口 Rc1/4。双线圈控制，两侧线圈同时失电后 P、A、B 口封闭，气缸停在当前位置，适合洁净回路中途保位控制，可配套 VV5FE5 阀岛集装使用。
工作介质：洁净干燥压缩空气，无油润滑；工作压力 0.15～1.0MPa，耐压 1.5MPa；使用温度 - 10～60℃，无结冰工况稳定运行；额定电压 DC24V，电压允许波动 ±10%；金属密封阀芯，耐高频换向、寿命持久；先导阀内置滤网；阀芯、密封件采用低析出氟系材质，严控微粒、有机挥发物释放；防护等级 IP65，防尘防溅。
SMC 50-VFE5320-5TD-02 先导金属密封电磁阀加粗金属密封阀芯，通流量大、换向稳定，适合长时间连续生产；三位中封机能，失电后封闭全部主气口，负载保持位置，满足安全保位需求；T 直出端子接线，接线牢固，检修拆装方便；D 锁定式手动调试按钮，检修时锁止，防止误触换向；先导独立排气结构，先导排气单独排出，降低洁净腔内部气流扰动；底板插入卡匣式结构，单颗螺丝固定，阀体更换、增减阀位灵活；阀体表面钝化处理，不易积尘，阀芯、密封维修套件可单独采购更换。
SMC 50-VFE5320-5TD-02 先导金属密封电磁阀多用于半导体洁净压合、光学元件检测、锂电电芯装配、医疗制药精密自动化工位，常搭配洁净三轴气缸、滑台、气爪、节流阀、快插接头配套使用，控制需要中途停位、断气保位的压紧、移栽、吸附回路，是洁净制程对微粒释放管控严格的三位五通先导电磁阀。
气源前端配置精密过滤器，保证气源干燥无尘无油，杂质容易划伤金属密封面，造成漏气、换向卡顿；三位阀控制逻辑做好互锁，禁止两侧线圈同时长时间通电；手动调试完成后复位锁定按钮；气管切口平整无毛刺，防止碎屑进入阀腔；不可通入腐蚀性气体、有机溶剂蒸汽；定期检查换向响应、密封位置有无漏气；供电电压维持在额定区间，防止线圈烧毁；存放于干燥防静电环境，远离油污、粉尘、化学品。
50-VFE53205TD03
50-VFE53206E103
50-VFE5344-5T
50VFE53445T03X1
50VFE54205E1D03
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50VPE542R3E1D02
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50VPE542R5TD02A
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