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20 代表洁净低析出专用规格，出厂经过高纯空气吹扫、低析出管控，防静电密封包装，适配洁净供气回路；ZH 属于 ZH 系列小型真空发生器；D 代表直接配管型式；S 代表最大真空度 - 90kPa；20 代表喷嘴孔径 Φ2.0mm；03 代表供气口适配 Φ3 气管；04 代表真空吸口适配 Φ4 气管；末尾 04 代表排气口适配 Φ4 气管，无内置消声结构，依靠文丘里原理，通入正压压缩空气即可产生负压，用于洁净设备工件真空吸附搬运。
工作介质：洁净干燥压缩空气，无油润滑；供给压力范围 0.25~0.6MPa，最高使用压力 0.7MPa；极限真空压力 - 90kPa；使用温度 - 5～50℃，无结冰工况稳定运行；最大吸入流量 155L/min (ANR)；喷嘴、密封件采用无铜无硅低析出氟系配方，严控颗粒物、有机挥发物释放；三路快插接口，拆装管路便捷，可搭配真空压力开关、真空吸盘、破坏阀配套使用。
SMC 20-ZH20DS-03-04-04 配管型真空发生器轻量化紧凑型本体，体积小、自重轻，节省设备安装空间；D 直接配管款式，供气口、真空口、排气口独立分开，管路布置灵活；一体式树脂喷嘴，流道顺畅，响应速度快；洁净专用低析出密封组件，气流摩擦微粒析出少，不会污染洁净腔体内工件；支持支架固定、底板直接锁固多种安装方式；排气外接管路，可将废气导出洁净腔，避免气流扰动扬尘；结构简单无运动活塞，故障率低，后期维护方便。
SMC 20-ZH20DS-03-04-04 配管型真空发生器多用于半导体洁净拾取、光学元件吸持、锂电洁净装配线、医疗制药自动化精密上料工位，常搭配 20 系列洁净电磁阀、真空吸盘、洁净快插接头、节流阀配套使用，完成薄片、镜片、PCB、膜材等轻薄工件的吸附移栽、定位拾取，是洁净自动化常用的文丘里式真空发生元件。
气源前端配置精密过滤器，保证气源干燥无尘无油，杂质容易磨损喷嘴内壁，造成真空度不足；供气压力控制在额定区间，压力过高会增大噪音与耗气量；排气管路保持通畅，不要堵塞；气管切口平整无毛刺，避免碎屑进入流道；不可通入腐蚀性气体、有机溶剂蒸汽；定期检查真空吸力、管路有无漏气；闲置气口做好封堵；存放于干燥防静电环境，远离油污、粉尘、化学品。
21.5X1.5
2103-002
21050-11
21050-23
2-128.609COMPLE
2-128.609MIDDLE
218X175X3
21-CDJ2B10-185B
21-CDQ2B32-75DM
21-CDQSB20-20D
21-CJ2B16-75
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22-918-053-510
22MXQ1210AM9NVL
22-MXS12-100
22X20X1
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