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20 代表洁净低析出专用规格，出厂经过高纯吹扫、低析出管控，防静电密封包装，适配洁净供气回路；MGPM 属于 MGP 系列薄型三轴气缸，M 为标准导杆规格；20 代表缸径 20mm；100 代表行程 100mm，双作用结构，内置磁环，中间活塞杆搭配两侧两根导杆一体化导向，自带抗扭转、抗侧向负载能力，无需额外外置导向机构，适合洁净设备中等负载中行程精密驱动场景。
接口 Rc1/4；最高使用压力 0.8MPa，耐压 1.2MPa；适用介质洁净干燥压缩空气，无油润滑；使用温度 - 10～60℃，无结冰工况稳定运行；两端橡胶缓冲垫；活塞运行速度 50～500mm/s；密封件、导杆密封组件采用无铜无硅低析出氟橡胶配方，严控颗粒物、有机挥发物释放；内置磁环，支持选配磁性开关采集伸出、缩回到位信号。
一体化三轴同步结构，中间活塞杆配合两侧两根精密导杆，导向刚性强，可承受径向力与扭转力矩，运行过程不会自转；M 标准导杆款式，结构均衡，通用性强；扁平薄型机身，轴向紧凑，节省设备布局空间；两端橡胶缓冲垫，吸收运动末端动能，降低震动与运行噪音；前端固定板带有多组螺纹孔，可直接连接压头、推板工装；缸筒内壁精密珩磨，搭配洁净专属密封组件，往复运动粉尘析出量低，不会污染洁净腔体内工件；缸体侧面预留磁性开关槽，开关嵌入式安装，避开工装、管路干涉；拆装维护便捷，密封套件可单独采购更换。
SMC 20-MGPM20-100 洁净低析出三轴导杆气缸多用于半导体洁净组装、光学元件检测定位、锂电洁净装配线、医疗制药自动化精密工位，常搭配 20 系列洁净电磁阀、洁净快插接头、节流阀配套使用，完成工件顶升、平移、压紧、推料、挡料等直线驱动动作，是洁净自动化工况导向稳定性好、抗偏载能力强的精密三轴执行气缸。
SMC 20-MGPM20-100 洁净低析出三轴导杆气缸气源前端配置精密过滤器、油雾分离器，保证气源干燥无尘无油，硬质杂质容易划伤导杆、缸筒内壁，加剧磨损、提升发尘；安装时负载尽量居中，避免长期单侧偏载，造成导杆憋卡变形；气管切口平整无毛刺，防止碎屑进入气缸腔体；不可通入腐蚀性气体、有机溶剂蒸汽；定期检查导杆表面有无划痕、运行是否顺畅、密封位置有无漏气；调试磁性开关确认感应区间，防止信号误触发；闲置气口做好封堵；存放于干燥防静电环境，远离油污、粉尘与化学品。
20-MGPM20-100A
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20-MGPM50-75
20-MGPM63-200A
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