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13 代表真空吸引式洁净专用系列，洁净等级 Class3，出厂经过高纯空气吹扫、低析出管控，防静电密封包装，适配真空腔体共存工况；MXS 为十字滚柱导轨一体式精密滑台气缸；6 代表缸径 6mm；10 代表行程 10mm；A 代表两端带行程调节螺钉；T 代表缩回侧附加微调限位结构，双作用结构，内置磁环，缸体预留磁性开关安装槽，本体集成真空抽吸通道，可将导轨摩擦产生的微颗粒抽出腔体，适合真空洁净环境短行程精密定位。
缸径 6mm，行程 10mm，双作用；工作压力 0.15~0.7MPa，耐压 1.05MPa；接管规格 M3×0.5；适用介质洁净干燥压缩空气，无油润滑；使用温度区间 - 10~60℃，无结冰条件可稳定运行；活塞运行速度 50~500mm/s；十字滚柱导轨导向，重复定位精度高；密封件、导轨润滑介质采用无铜无硅氟系低析出配方，严控颗粒物、有机挥发物释放；内置磁环，支持选配磁性开关采集到位信号，配套真空抽吸接口实现抑发尘效果；两端配置限位调节螺丝，缩回端 T 规格可单独微调缩回停止位置，调节范围 0~5mm。
SMC 13-MXS6-10AT 十字滚柱精密气动滑台一体化十字滚柱直线导轨结构，无间隙顺滑运动，刚性好、抗偏载、抗扭转性能优异，动作重复性稳定；滑台台面多方向预留安装螺纹孔，工件直接锁附，装配基准统一；A 代表两端都具备行程调节机构，T 为缩回端微调规格，可独立设定缩回终点，满足短行程微小位置微调需求；真空抽吸抑发尘结构，导轨滑动摩擦产生的微量粉尘通过真空通道抽离，避免微粒滞留污染真空腔体；本体小巧轻薄，适合设备狭小空间高密度布局；缸体侧面集成磁性开关槽，磁性开关嵌入式安装，不会和周边治具产生干涉；缸体表面采用特殊镀层处理，光滑不易积尘，适配高等级真空洁净制程。
SMC 13-MXS6-10AT 十字滚柱精密气动滑台多用于半导体芯片真空检测工位、光学镜片微组装真空平台、微型真空吸附治具、医疗精密真空自动化、锂电洁净微工位，常搭配 13 系列洁净电磁阀、洁净快插接头、微型节流阀、真空过滤器配套使用，完成轻载工件平移、定位、挡料、微小物料推送等短行程精密动作，适合需要精准微调缩回位置的洁净真空工位，是真空洁净自动化设备里常用的微型精密滑台执行元件。
气源前端配置精密过滤器、油雾分离器，保证气源干燥无尘无油，硬质颗粒会损伤十字滚柱导轨与密封件，增大发尘量；安装基准面平面度控制在 0.05mm 以内，保证导轨基准平直，防止偏载卡死、异常磨损；真空管路需要维持稳定负压，保障抑尘效果；气管切口平整无毛刺，避免碎屑进入滑台内部；不可通入腐蚀性气体、有机溶剂蒸汽；调节限位螺钉时缓慢微调，避免硬撞击损伤导轨；调试磁性开关时确认感应区间，防止信号误触发；定期检查滑台运行状态，有无异响、卡滞、漏气；闲置气口做好封堵；存放于干燥防静电环境，远离油污、粉尘、化学品以及强磁场。
13-MXS6-20AS
13-MXS6-30AS
13-MXS6-40A
13-MXS6-40AS
13-MXS6-50AS
13-MXS6L-10AT
13-MXS6L-10-M9B
13-MXS820AA93VL
13-MXS8-20AS
13-MXS8-30
13-MXS8-30A
13-MXS8-40A
13-MXS8-50
13-MXS850AA96L
13-MXS8-50A-M9N
13-MXS8-50-M9B
13-MXS8-50-M9BL
14.5X12.5X1.0
143.5X139.5X2
143044-2
14446M10
14KVA(380/200V)
14X12X1
14X12X1F
14X1F
1510201-51019
151210-04
15KVA(380/200V)
15UF-400VAC
16(CG1-XC9)
16.79X1F
161420
163.5X159.5X2
163.5X159X2
16517A
16X13X1.5(NCA1)
16X14X1
16X14X1F(CJ2)
16X14X1LT
17.5UF-400VAC
17.6X17.0X0.3F
17050
17050.
17051
17070
17071
17072
17072.
17099
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