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10 代表洁净专用版本，出厂经过高纯吹扫、低析出管控，防静电密封包装，适配无尘工况；VQ110 属于 VQ100 系列二位三通常闭直动式电磁阀；6 代表线圈电压 DC12V；L 代表 L 型插座接线，集成指示灯与浪涌抑制回路；X46 为真空破坏专用特殊定制规格，专为真空吸附破气工艺开发，支持真空与正压平稳切换，可单体安装或组装在 VV3Q 系列洁净汇流板上构成微型阀岛。
适用介质为洁净干燥压缩空气，兼容真空工况，工作压力范围 0~0.7MPa，真空可达 - 100kPa；线圈额定电压 DC12V，标准功耗 1W，开关响应极快，通断响应时间毫秒级，动作重复精度高，耐久寿命可达 2 亿次以上；使用温度区间 0~50℃，无油润滑设计，无需添加润滑油；流体接触部位无铜材质，密封件采用低粉尘氟橡胶，流道低析出处理，严控有机挥发物与颗粒物释放；阀体宽度仅 9.8mm，体积小巧，流通性能稳定，适配微小流量控制。
SMC 10-VQ110-6L-X46 三通直动式高速电磁阀，常闭基础机能，搭配 X46 定制逻辑，实现真空吸附平稳破气，避免工件瞬间冲击弹飞，无需额外增设破气节流回路；L 型插座接线，插拔维护便捷，通电指示灯清晰可见，浪涌保护电路吸收反向电压，保护前端 PLC 输出点位；配置工具操作式非锁定手动按钮，不通电状态下可单独测试气路通断，调试方便；整体紧凑轻薄，适合设备狭小空间布局；模块化结构，搭配同系列洁净汇流板可多路集成，单阀故障独立拆装更换，不干扰其余气路；流道内壁光滑，不易积存杂质，低发尘特性满足半导体、光学洁净环境要求。
SMC 10-VQ110-6L-X46 三通直动式高速电磁阀主要用于半导体芯片、光学镜片、玻璃基板真空吸附搬运工位，广泛配套晶圆检测设备、镜头组装自动化、锂电洁净微治具、医疗精密检测仪器等洁净产线，常搭配 10 系列洁净接头、微型节流阀、真空发生器、真空过滤器配套使用，负责真空吸附保持与平缓破气释放，解决薄型工件取放时容易弹跳、偏移的工艺痛点，是洁净真空微气路的核心控制元件。
气源前端必须加装精密过滤器与油雾分离器，保证气源干燥无油无尘，防止杂质划伤密封件；装配时气管切口平整无毛刺，避免碎屑进入阀体内部；不可通入腐蚀性气体、有机溶剂蒸汽；接线前确认供电电压为 DC12V，防止线圈烧毁；闲置端口做好封堵，防止粉尘反向侵入阀腔；定期检查阀体、接头密封位置，出现漏气、动作迟滞及时更换；储存放置于干燥防静电区域，远离化学品、强光与油污环境。
10-VQ110H-6LBM3
10VQ110L5LOX332
10-VQ110U-5LX46
10-VQ110U-5MO
10VQ110U5MOX153
10-VQ110U5MOX46
10-VQ110Y-5LO
10VQ110Y5MM5X46
10-VQ110Y-5MOM5
10-VQ111-9GX171
10-VQ111H-5-X13
10-VQ111H-6
10-VQ111H-6-X13
10-VQ111H-6X216
10-VQ1131-5-C4
10-VQ1131Y-5-C4
10-VQ1140Y-5LC6
10-VQ1200-51
10-VQ1200Y-5
10-VQ1200Y-5X36
10-VQ120-5LB-M3
10-VQ120-6LB-M3
10-VQ120U5LX108
10-VQ1240-5L-C6
10-VQ1400-51
10-VQ1400Y-5
10-VQ1500-51
10-VQ1500Y-5
10-VQ2141-5M-C6
10-VQD1121-5LM5
10-VQD1151-5LM5
10-VQD1151-5LO
10-VQD1151V5LM5
10VQD1151W5LM54
10-VQD1151W5MM5
10-VQZ115R-5L01
10-VSA4230-04
10-VV3Z34002201
10-VV3Z54103101
10-VV3Z54106101
10VV5Q1105C4FS1
10-VV5Q1304AFS1
10-VV5Q24-08C
10VV5ZS251FD081
10-VZ110-5LZ-M5
10-VZ1120-2LZM5
10-VZ1120-5MZM5
10-VZ3140-2LZ01
10-VZ3143-4G
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